Earst, de foardielen fan granitenbasis
Hege styfheid en lege termyske deformaasje
De tichtens fan granyt is heech (sawat 2,6-2,8 g/cm³), en de Young's modulus kin 50-100 GPa berikke, wat folle heger is as dy fan gewoane metalen materialen. Dizze hege styfheid kin eksterne trillingen en ladingdeformaasje effektyf remme, en de flakheid fan 'e loftfloatlieding garandearje. Tagelyk is de lineêre útwreidingskoëffisjint fan granyt tige leech (sawat 5 × 10⁻⁶/℃), mar 1/3 fan aluminiumlegering, hast gjin termyske deformaasje yn 'e temperatuerfluktuaasjeomjouwing, foaral geskikt foar laboratoaria mei konstante temperatuer of yndustriële sênes mei in grut temperatuerferskil tusken dei en nacht.
Uitstekende dempingsprestaasjes
De polykristallijne struktuer fan granyt soarget derfoar dat it natuerlike dempingseigenskippen hat, en de trillingsdempingtiid is 3-5 kear rapper as dy fan stiel. Yn it proses fan presyzjebewerking kin it effektyf hege-frekwinsjetrillingen absorbearje, lykas motorstart en -stop, ark snijden, en de ynfloed fan resonânsje op 'e posysjonearringskrektens fan it bewegende platfoarm foarkomme (typyske wearde oant ± 0,1 μm).
Lange-termyn dimensjonele stabiliteit
Nei hûnderten miljoenen jierren fan geologyske prosessen dy't granyt foarme hawwe, is de ynterne spanning folslein frijlitten, net lykas by metalen materialen fanwegen oerbleaune spanning feroarsake troch stadige deformaasje. De eksperimintele gegevens litte sjen dat de grutteferoaring fan 'e granytbasis minder is as 1μm/m yn 'e perioade fan 10 jier, wat signifikant better is as dy fan getten izer of laske stielen struktueren.
Korrosjebestindich en ûnderhâldsfrij
Granyt hat in sterke tolerânsje foar soer en alkali, oalje, focht en oare miljeufaktoaren, it is net nedich om de anty-roestlaach sa regelmjittich te bedekken as de metalen basis. Nei it slypjen en polyskjen kin de oerflakteruwheid Ra 0.2μm of minder berikke, wat direkt brûkt wurde kin as it lageroerflak fan 'e loftfloatgidsrail om gearstallingsflaters te ferminderjen.
Twadde, de beheiningen fan granitenbasis
Ferwurkingsproblemen en kostenproblemen
Granyt hat in Mohs-hurdens fan 6-7, wêrtroch't diamantark brûkt wurde moat foar presys slypjen, en de ferwurkingseffisjinsje is mar 1/5 fan dy fan metalen materialen. De komplekse struktuer fan 'e swalfsturtgroef, skroefdraadgatten en oare skaaimerken fan 'e ferwurkingskosten binne heech, en de ferwurkingssyklus is lang (bygelyks, de ferwurking fan in platfoarm fan 2m × 1m duorret mear as 200 oeren), wêrtroch't de totale kosten 30% -50% heger binne as dy fan in platfoarm fan aluminiumlegering.
Risiko op brosse brekken
Hoewol't de druksterkte 200-300 MPa berikke kin, is de treksterkte fan granyt mar 1/10 dêrfan. Brosse breuken komme maklik foar ûnder ekstreme ynfloedbelesting, en de skea is lestich te reparearjen. It is needsaaklik om spanningskonsintraasje te foarkommen troch struktureel ûntwerp, lykas it brûken fan rûne hoeke-oergongen, it fergrutsjen fan it oantal stipepunten, ensfh.
Gewicht bringt systeembeperkingen mei
De tichtheid fan granyt is 2,5 kear dy fan aluminiumlegering, wat resulteart yn in substansjele tanimming fan it totale gewicht fan it platfoarm. Dit stelt in hegere eask oan 'e draachkapasiteit fan' e stipestruktuer, en de dynamyske prestaasjes kinne beynfloede wurde troch traachheidsproblemen yn senario's dy't hege snelheidsbeweging fereaskje (lykas de litografywafertafel).
Materiaal anisotropie
De ferdieling fan minerale dieltsjes yn natuerlik granyt is rjochtinggewiis, en de hurdens en termyske útwreidingskoëffisjint fan ferskate posysjes binne wat oars (sawat ± 5%). Dit kin net-ferwaarloosbere flaters yntrodusearje foar ultra-presyzje platfoarms (lykas nanoskaalposysjonearring), dy't ferbettere moatte wurde troch strange materiaalseleksje en homogenisaasjebehanneling (lykas hege-temperatuer kalsinaasje).
As it kearnkomponint fan hege-presyzje yndustriële apparatuer, wurdt in presyzje statyske druklucht driuwend platfoarm in soad brûkt yn healgeleiderproduksje, optyske ferwurking, presyzjemjitting en oare fjilden. De kar fan basismateriaal beynfloedet direkt de stabiliteit, krektens en libbensdoer fan it platfoarm. Granyt (natuerlik granyt), mei syn unike fysike eigenskippen, is de lêste jierren in populêr materiaal wurden foar sokke platfoarmbases.
Pleatsingstiid: 9 april 2025