Materiaal - Keramyk

♦ Alumina (Al2O3)

De presyzje keramyske dielen produsearre troch ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kinne wurde makke fan hege suverens keramyske grûnstoffen, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina,> 99,9% alumina, en CIP kâlde isostatyske drukken.Hege temperatuer sintering en presys ferwurking, diminsjonele krektens fan ± 0.001mm, glêdens oant Ra0.1, brûke temperatuer oant 1600 graden.Ferskillende kleuren fan keramyk kinne wurde makke neffens klanten 'easken, lykas: swart, wyt, beige, donker read, ensfh De presys keramyske dielen produsearre troch ús bedriuw binne resistint foar hege temperatuer, corrosie, wear en isolaasje, en kin wêze brûkt foar in lange tiid yn hege temperatuer, fakuüm en corrosive gas omjouwing.

In protte brûkt yn in ferskaat oan semiconductor produksje apparatuer: Frames (keramyske beugel), Substrate (basis), Arm / Brêge (manipulator), meganyske komponinten en keramyske lucht Bearing.

AL2O3

Tapassing fan hege suverens alumina keramyk:
1. Tapasse op semiconductor apparatuer: keramyske vacuum chuck, cutting disc, cleaning disc, keramyske CHUCK.
2. Wafer oerdracht dielen: wafer handling chucks, wafer cutting discs, wafer cleaning discs, wafer optyske ynspeksje suction cups.
3. LED / LCD flat paniel display yndustry: keramyske nozzle, keramyske grinding disc, LIFT PIN, PIN rail.
4. Optyske kommunikaasje, sinne-yndustry: keramyske buizen, keramyske roeden, circuit board skermprintsje keramyske skrapers.
5. Heat-resistant en elektrysk isolearjende dielen: keramyske lagers.
Op it stuit kin aluminium okside keramyk wurde ferdield yn hege suverens en gewoane keramyk.De hege suverens aluminium okside keramyk rige ferwiist nei it keramyske materiaal befettet mear as 99,9% Al₂O₃.Fanwege syn sintertemperatuer fan maksimaal 1650 - 1990 ° C en syn oerdracht golflingte fan 1 ~ 6μm, wurdt it meastentiids ferwurke yn fusearre glês ynstee fan platina kroes: dat kin brûkt wurde as natrium buis fanwege syn ljocht transmittance en corrosie ferset tsjin alkalimetaal.Yn 'e elektroanika-yndustry kin it brûkt wurde as it heechfrekwinsje-isolearjende materiaal foar IC-substraten.Neffens ferskate ynhâld fan aluminium okside, de mienskiplike aluminium okside keramyk rige kin wurde ferdield yn 99 keramyk, 95 keramyk, 90 keramyk en 85 keramyk.Soms, de keramyk mei 80% of 75% fan aluminium okside wurdt ek klassifisearre as gewoane aluminium okside keramyk rige.Under harren, 99 aluminium okside keramyske materiaal wurdt brûkt foar it produsearjen fan hege temperatuer kroes, fjoerproofing oven buis en spesjale wear-resistant materialen, lykas keramyske lagers, keramyske seehûnen en fentyl platen.95 aluminium keramyk wurdt benammen brûkt as corrosie-resistant wear-resisting diel.85 keramyk wurdt faak mingd yn guon eigenskippen, dêrmei ferbetterjen fan elektryske prestaasjes en meganyske sterkte.It kin molybdenum, niobium, tantaal en oare metalen sealen brûke, en guon wurde brûkt as elektryske fakuümapparaten.

 

Kwaliteitsitem (fertsjintwurdige wearde) Produkt Namme AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Gemyske gearstalling Low-Sodium Easy Sintering Product H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Lol % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Middele partikeldiameter (MT-3300, laseranalysemetoade) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α Crystal Grutte μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 ~ 1.0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Formaasjedichtheid** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sinteringstichtens** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Krimptaryf fan sinteringline** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO is net opnommen yn 'e berekkening fan suverens fan Al₂O₃.
* Gjin skaalfergrutting poeder 29.4MPa (300kg/cm²), sintertemperatuer is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Add 0.05 ~ 0.1% MgO, de sinterability is poerbêst, dus it is fan tapassing op aluminium okside keramyk mei de suverens fan mear as 99%.
AES-22S: Karakterisearre troch hege foarmjen tichtens en lege krimp taryf fan sintering line, it is fan tapassing foar slip foarm casting en oare grutskalige produkten mei fereaske dimensional krektens.
AES-23 / AES-31-03: It hat in hegere foarmjende tichtens, thixotropy en in legere viskositeit as AES-22S.de eardere wurdt brûkt foar keramyk, wylst de lêste wurdt brûkt as wetterreduksje foar brânfeilich materiaal, wint populariteit.

♦ Silicon Carbide (SiC) Skaaimerken

Algemiene skaaimerken Suverens fan haadkomponinten (wt%) 97
Kleur Swart
Tichtheid (g/cm³) 3.1
Wetterabsorption (%) 0
Meganyske skaaimerken Flexural sterkte (MPa) 400
Jonge modulus (GPa) 400
Vickers hurdens (GPa) 20
Termyske skaaimerken Maksimum wurktemperatuer (°C) 1600
Termyske útwreidingskoëffisjint RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Thermyske konduktiviteit (W/m x K) 130 110
Thermyske skokbestriding ΔT (°C) 300
Elektryske skaaimerken Volume resistivity 25°C 3 x106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektryske konstante 10GHz -
Dielektrysk ferlies (x 10-4) -
Q-faktor (x 104) -
Dielektryske trochbraakspanning (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silicon Nitride Keramyk

Materiaal Ienheid Si₃N₄
Sintering metoade - Gasdruk Sintered
Tichtheid g/cm³ 3.22
Kleur - Dûnkergriis
Wetter Absorption Rate % 0
Jonge Modulus Gpa 290
Vickers hurdens Gpa 18 - 20
Kompressive sterkte Mpa 2200
Bending Strength Mpa 650
Warmtegelieding W/mK 25
Thermal Shock Resistance Δ (° C) 450 - 650
Maksimum bestjoeringssysteem temperatuer °C 1200
Volume Resistivity Ω · cm > 10^14
Dielektryske konstante - 8.2
Dielektryske sterkte kV/mm 16