Yn 'e semiconductorproduksje spylje wafergroovingmasines in krúsjale rol by it meitsjen fan krekte kanalen op wafers. De prestaasjes fan dizze masines kinne in wichtige ynfloed hawwe op
troch de kar fan 'e masinebasis. Heechpresyzje graniten masinebasissen, lykas dy oanbean troch ZHHIMG®, binne yn dit ferbân in revolúsje wurden.
Stabiliteit foar presys groeven
Stabiliteit is fan it grutste belang by it groeven fan wafers. Granyt, mei syn hege tichtheid fan sawat 3100 kg/m³, soarget foar in ekstreem stabile basis. Tidens it groefproses oefenet it snijark krêft út op 'e wafer. In stabile masinebasis, lykas dy fan granyt, soarget derfoar dat it waferhâldmeganisme stevich op syn plak bliuwt. Dizze stabiliteit minimalisearret elke net winske beweging of trilling fan 'e wafer, wêrtroch't it snijark mei hege presyzje groeven kin meitsje. Yn tsjinstelling, in minder stabyl basismateriaal kin derfoar soargje dat de wafer wat ferskowt, wat resulteart yn groeven dy't te breed, te smel of net rjocht binne, wat de funksjonaliteit fan it definitive healgeleiderapparaat slim kin beynfloedzje.
Trillingsdemping foar soepele operaasjes
Trilling is in ynherint probleem yn elk ferwurkingsproses, en wafergroeven is gjin útsûndering. De hege-snelheidsrotaasje fan it snijark yn in wafergroefmasine genereart trillingen. As dizze trillingen net effektyf dempt wurde, kinne se liede ta it ôfbrokkeljen fan 'e waferrânen, ûngelikense groefdjipten en in minne oerflakteôfwerking. Granyt hat poerbêste trillingsdempende eigenskippen. De natuerlike struktuer, besteande út yninoar gripende minerale kerrels, fungearret as in natuerlike skokdemper. As trillingen foarkomme, wurdt de enerzjy yn it granyt ferspraat, wêrtroch't de ynfloed op 'e wafer en it snijark ferminderet. Dit resulteart yn glêdere snijoperaasjes, in langere libbensduur fan it ark en groefde wafers fan hegere kwaliteit.
Termyske wjerstân foar konsekwinte resultaten
Healgeliederproduksjefasiliteiten operearje faak yn kontroleare omjouwings, mar d'r kinne noch altyd lytse temperatuerfluktuaasjes wêze. Granyt hat in heul lege termyske útwreidingskoëffisjint. Dit betsjut dat as de temperatuer wat feroaret tidens it wafergrooveproses (of fanwegen de waarmte dy't generearre wurdt troch it snijark of fariaasjes yn 'e omjouwingstemperatuer), de basis fan 'e granytmasine net signifikant sil útwreidzje of krimpen. By wafergroove, wêr't presyzjetolerânsjes yn it mikrometer- of sels nanometerberik lizze, kinne termysk feroarsake dimensjonele feroarings rampzalich wêze. De termyske stabiliteit fan granyt helpt de ôfstimming fan 'e masinekomponinten te behâlden, wêrtroch't it grooveproses yn 'e rin fan' e tiid krekt en konsekwint bliuwt.
Duorsumens foar langduorjend gebrûk
Wafergroefmasines wurde kontinu brûkt yn 'e produksje fan healgeleiders mei hege folume. De masinebasis wurdt ûnderwurpen oan meganyske stress, wriuwing en sa no en dan ynfloeden. De hege hurdens en slijtvaste aard fan granyt meitsje it in ideaal materiaal foar langduorjend gebrûk. It kin de swierrichheden fan deistige operaasje wjerstean sûnder wichtige slijtage of deformaasje. Dizze duorsumens ferminderet de needsaak foar faak ferfangingen of djoer ûnderhâld fanwegen problemen mei de basis. Derneist is granyt gemysk inert, wat betsjut dat it resistint is tsjin korrosje fan 'e gemikaliën dy't brûkt wurde yn produksjeprosessen foar healgeleiders, wêrtroch't de libbensdoer fierder ferlingd wurdt.
Konklúzjend kin in hege-presyzje graniten masinebasis de prestaasjes fan wafergroefmasines yndie ferbetterje. Troch stabiliteit te bieden, trillingen te dempen, termyske feroarings te wjerstean en lange-termyn duorsumens te bieden, drage graniten masinebasissen by oan krekter, effisjintere en betrouberdere wafergroefoperaasjes. By it beskôgjen fan in upgrade of nije oankeap fan wafergroefapparatuer, is it kiezen fan in masine mei in hege-presyzje graniten masinebasis, lykas dy fan ZHHIMG®, in wize beslissing dy't de kwaliteit en produktiviteit fan healgeleiderproduksje signifikant kin ferbetterje.
Pleatsingstiid: 3 juny 2025