De Presyzjerevolúsje yn healgeleiderproduksje: As granyt mikrontechnology treft
1.1 Unferwachte ûntdekkingen yn materiaalkunde
Neffens it rapport fan 'e SEMI International Semiconductor Association út 2023 binne 63% fan 'e avansearre fabriken yn 'e wrâld begûn mei it brûken fan graniten bases ynstee fan tradisjonele metalen platfoarms. Dizze natuerstien, dy't ûntstiet út magmakondensaasje djip yn 'e ierde, herskriuwt de skiednis fan healgeleiderproduksje fanwegen syn unike fysike eigenskippen:
Foardiel fan termyske traachheid: de termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt 4.5 × 10⁻⁶/℃ is mar 1/5 fan dy fan roestfrij stiel, en de dimensjonele stabiliteit fan ± 0.001 mm wurdt hanthavene yn it trochgeande wurk fan 'e litografymasine.
Trillingsdempende skaaimerken: de ynterne wriuwingskoëffisjint is 15 kear heger as dy fan getten izer, wêrtroch't mikrotrillingen fan apparatuer effektyf wurde opnomd.
Nul magnetisaasje-natuer: eliminearje de magnetyske flater yn lasermjitting folslein
1.2 De metamorfoazereis fan myn nei fabryk
As foarbyld nimme fan 'e yntelliginte produksjebasis fan ZHHIMG yn Shandong, moat in stik rau granyt ûndergean:
Ultra-presyzje ferwurking: fiif-assige ferbiningsbewerkingssintrum foar 200 oeren trochgeand frezen, oerflakteruwheid oant Ra0.008μm
Keunstmjittige ferâlderingsbehanneling: 48 oeren natuerlike stressfrijlitting yn 'e workshop mei konstante temperatuer en fochtigens, wat de stabiliteit fan it produkt mei 40% ferbetteret.
Twadde, kraken de seis presyzjeproblemen fan healgeleiderproduksje "rotsoplossing"
2.1 Skema foar it ferminderjen fan waferfragmentaasjesnelheid
Case-demonstraasje: Nei't in chipgieterij yn Dútslân ús gasdriuwende granytplatfoarm oannimt:
| Waferdiameter | reduksje fan chiptaryf | ferbettering fan flakheid |
| 12 inch | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inch | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Trochbraakskema foar litografyske útrjochtingskrektens
Temperatuerkompensaasjesysteem: ynbêde keramyske sensor kontrolearret de foarmfariabele yn realtime en past automatysk de helling fan it platfoarm oan
Mjitten gegevens: ûnder de fluktuaasje fan 28 ℃ ± 5 ℃ fluktuearret de ynbêdingsnauwkeurigens minder dan 0.12μm
Pleatsingstiid: 24 maart 2025