Op it mêd fan hege-ein produksje en baanbrekkend wittenskiplik ûndersyk is de ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat in wichtige apparatuer wurden foar fyn operaasje en mjitting mei syn poerbêste presyzjeprestaasjes. De graniten presyzjebasis, as de stipekearn, hat strange easken foar de wurkomjouwing, en de gaadlike miljeu-omstannichheden binne de basis om syn stabile prestaasjes en it bêste effekt te garandearjen.
Earst, temperatuerkontrôle: presyzje "stabilisator"
Hoewol granyt bekend stiet om syn stabiliteit, is it net folslein ymmún foar temperatuerferoarings. Hoewol syn termyske útwreidingskoëffisjint leech is, oer it algemien 5-7 × 10⁻⁶/℃, kinne yn ultra-presyzje bewegingskontrôlescenario's subtile temperatuerfluktuaasjes noch dimensjonele feroarings feroarsaakje en de krektens fan 'e module beynfloedzje. Yn 'e workshop foar it meitsjen fan healgeleiderchips fereasket it litografyproses in posysjonearringskrektens op danami-nivo, en de omjouwingstemperatuer fluktuearret mei 1 ° C, en de granytbasis mei in sydlingte fan 1 meter kin in lineêre útwreiding of krimp fan 5-7 mikron produsearje. Dizze lytse feroaring wurdt oerdroegen troch de ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat, wat genôch is om it chiplitografypatroan ôf te wiken en de opbringst sterk te ferminderjen. Dêrom, foarsjoen fan in graniten presyzjebasis fan 'e loft driuwende ultra-presyzje bewegingsmodule, moat de ideale wurkomjouwingstemperatuer wurde kontroleare op 20 °C ± 1 °C, mei help fan hege-presyzje konstante temperatuerapparatuer, lykas in konstante temperatuer en fochtigens airconditioningsysteem, trochgeande monitoaring en oanpassing fan 'e omjouwingstemperatuer, om te soargjen dat de temperatuerfluktuaasjes yn in heul lyts berik, de stabiliteit fan 'e basisgrutte behâlde, om te soargjen dat de module mei hege presyzje wurket.
Twadde, fochtigensbehear: de kaai ta fochtbestindige beskerming "stien"
Fochtigens is in oare wichtige faktor dy't de prestaasjes fan presyzje granytbasis beynfloedet. Yn in omjouwing mei hege fochtigens nimt granyt maklik wetterdamp op, wat kin liede ta kondensaasje op it oerflak, wat net allinich de ferbiningsstabiliteit fan it granyt en de ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat beynfloedet, mar ek oerflakeroazje kin feroarsaakje en op 'e lange termyn de glâns en krektens ferminderje. Yn 'e workshop foar it slypjen fan optyske lenzen, as de fochtigens lange tiid heger is as 60% RH, sil de wetterdamp dy't op it oerflak fan 'e granytbasis adsorbearre wurdt, de beweging fan 'e gasfloatslider bemuoie, sadat de krektens fan it slypjen fan 'e lens fermindere wurdt en it oerflak defekt wurdt. Dêrom moat de relative fochtigens fan 'e wurkomjouwing strang kontroleare wurde tusken 40%-60% RH, wat yn realtime kin wurde kontroleare en oanpast troch it ynstallearjen fan ûntvochtigers, fochtigenssensors en oare apparatuer om skea oan 'e granytbasis troch hege fochtigens te foarkommen, en de soepele wurking fan 'e ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat te garandearjen.
Tredde, garânsje foar skjinens: de "beskermer" fan presyzje
De skea fan stofdieltsjes oan 'e presyzje graniten basis fan 'e ultra-presyzje bewegingsmodule fan loftflotaasje kin net ûnderskat wurde. Sadree't de lytse dieltsjes de gasfilmklep tusken de gasfloatslider en de graniten basis yngeane, kinne se de uniformiteit fan 'e gasfilm ferneatigje, de wriuwing ferheegje en sels it oerflak fan 'e basis krassen, wat resulteart yn in fermindere bewegingskrektens. Yn 'e ultra-presyzje ferwurkingsworkshop fan loftfeartûnderdielen, as de stofdieltsjes yn 'e loft op 'e graniten basis falle, kin de bewegingstrajekt fan it ferwurkingsark ôfwike, wat de ferwurkingskrektens fan 'e ûnderdielen beynfloedet. Dêrom moat it wurkgebiet tige skjin hâlden wurde, en in skjinensnivo fan 10.000 of sels hegere nivo's berikke, troch de ynstallaasje fan loftreinigingsapparatuer, lykas hege effisjinsje luchtfilters (HEPA), dy't de stofdieltsjes yn 'e loft filterje, tagelyk moatte meiwurkers stoffrije klean, skuonhoezen, ensfh. drage om it stof dat troch minsken meinommen wurdt te ferminderjen. Hâld in hege presyzje wurkomjouwing fan 'e graniten basis en de ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat yn stân.
Fjouwer, trillingsisolaasje: soepele wurking fan 'e "skokpad"
De eksterne trilling is de fijân fan 'e presyzje fan 'e ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat. Hoewol't de presyzje graniten basis in bepaalde trillingsdemping hat, kin de hege-sterkte trilling noch altyd syn bufferlimyt brekke. De trilling dy't ûntstiet troch it ferkear om 'e fabryk hinne en de wurking fan grutte meganyske apparatuer wurdt troch de grûn oerdroegen oan 'e graniten basis, wat de bewegingskrektens fan 'e ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e loftfloat sil bemuoie. Yn high-end CMM kin trilling derfoar soargje dat it kontakt tusken de mjitsonde en it te mjitten wurkstik ynstabyl is, wat resulteart yn in ôfwiking fan 'e mjitgegevens. Om dit probleem op te lossen, is it nedich om effektive trillingsisolaasjemaatregels te nimmen, lykas it lizzen fan trillingsisolaasjepads yn it ynstallaasjegebiet fan 'e apparatuer, it bouwen fan in trillingsisolaasjefûnemint, of it brûken fan in aktyf trillingsisolaasjesysteem om eksterne trilling aktyf te kompensearjen, en in rêstige en stabile wurkomjouwing te meitsjen foar de graniten presyzjebasis en de loftfloat ultra-presyzje bewegingsmodule.
Allinnich troch folslein te foldwaan oan de miljeu-easken fan temperatuer, fochtigens, skjinens en trillingskontrôle, kin de graniten presyzjebasis fan 'e ultra-presyzje bewegingsmodule fan' e loftfloat syn prestaasjesfoardielen folslein benutte, betroubere garânsje leverje foar ultra-presyzje operaasjes yn ferskate fjilden, en de yndustry helpe om te bewegen nei in heger presyzjeproduksje- en wittenskiplik ûndersyksnivo.
Pleatsingstiid: 8 april 2025