Op it mêd fan healgeleiderproduksje, as de kearnapparatuer dy't de presyzje fan it chipproduksjeproses bepaalt, is de stabiliteit fan 'e ynterne omjouwing fan' e fotolitografymasine fan libbensbelang. Fan 'e oanstjoering fan' e ekstreme ultraviolette ljochtboarne oant de wurking fan it nanoskaalpresyzjebewegingsplatfoarm, kin der gjin lytste ôfwiking wêze yn elke keppeling. Graniten bases, mei in searje unike eigenskippen, litte ongeëvenaarde foardielen sjen yn it garandearjen fan 'e stabile wurking fan fotolitografymasines en it ferbetterjen fan de krektens fan' e fotolitografy.
Uitstekende elektromagnetyske ôfskermingsprestaasjes
De binnenkant fan in fotolitografymasine is fol mei in komplekse elektromagnetyske omjouwing. Elektromagnetyske ynterferinsje (EMI) generearre troch komponinten lykas ekstreme ultraviolette ljochtboarnen, oandriuwmotoren en heechfrekwinsje-stroomfoarsjennings, as se net effektyf kontroleare wurde, sil de prestaasjes fan presyzje-elektronyske komponinten en optyske systemen binnen de apparatuer serieus beynfloedzje. Ynterferinsje kin bygelyks lytse ôfwikingen feroarsaakje yn 'e fotolitografypatroanen. Yn avansearre produksjeprosessen is dit genôch om te lieden ta ferkearde transistorferbiningen op 'e chip, wêrtroch't de chipopbringst signifikant ferminderet.
Granyt is in net-metalen materiaal en liedt sels gjin elektrisiteit. Der is gjin elektromagnetysk ynduksjeferskynsel feroarsake troch de beweging fan frije elektroanen binnenin lykas by metalen materialen. Dizze eigenskip makket it in natuerlik elektromagnetysk ôfskermjend lichem, dat it oerdrachtspaad fan ynterne elektromagnetyske ynterferinsje effektyf kin blokkearje. As it wikseljende magnetyske fjild generearre troch de eksterne elektromagnetyske ynterferinsjeboarne him nei de granytbasis ferspriedt, om't it granyt net-magnetysk is en net magnetisearre wurde kin, is it wikseljende magnetyske fjild lestich te penetrearjen, wêrtroch't de kearnkomponinten fan 'e fotolitografymasine dy't op' e basis ynstalleare is, lykas presyzjesensors en optyske lensoanpassingsapparaten, beskerme wurde tsjin 'e ynfloed fan elektromagnetyske ynterferinsje en de krektens fan patroanoerdracht tidens it fotolitografyproses garandearre wurdt.
Uitstekende fakuümkompatibiliteit
Omdat ekstreem ultraviolet ljocht (EUV) maklik troch alle stoffen opnommen wurdt, ynklusyf loft, moatte EUV-litografymasines yn in fakuümomjouwing wurkje. Op dit punt wurdt de kompatibiliteit fan 'e apparatuerkomponinten mei de fakuümomjouwing benammen krúsjaal. Yn in fakuüm kinne materialen oplosse, desorbearje en gas frijlitte. It frijlitten gas absorbearret net allinich EUV-ljocht, wêrtroch't de yntensiteit en transmissie-effisjinsje fan it ljocht ferminderet, mar kin ek optyske lenzen fersmoargje. Bygelyks, wetterdamp kin de lenzen oksidearje, en koalwetterstoffen kinne koalstoflagen op 'e lenzen ôfsette, wat de kwaliteit fan litografy serieus beynfloedet.
Granyt hat stabile gemyske eigenskippen en lit amper gas frij yn in fakuümomjouwing. Neffens profesjonele testen is yn in fakuümomjouwing fan in simulearre fotolitografymasine (lykas de ultra-skjinne fakuümomjouwing wêryn it optyske ferljochtingssysteem en it optyske ôfbyldingssysteem yn 'e haadkeamer lizze, wêrby't H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa fereaske is), de útgassingssnelheid fan 'e granytbasis ekstreem leech, folle leger as dy fan oare materialen lykas metalen. Dit stelt it ynterieur fan 'e fotolitografymasine yn steat om in hege fakuümgraad en skjinens foar in lange tiid te behâlden, wêrtroch't de hege transmittânsje fan EUV-ljocht tidens transmissie en in ultra-skjinne gebrûksomjouwing foar optyske lenzen garandearre wurdt, de libbensdoer fan it optyske systeem ferlingt en de algemiene prestaasjes fan 'e fotolitografymasine ferbetteret.
Sterke trillingsbestriding en termyske stabiliteit
Tidens it fotolitografyproses fereasket de presyzje op nanometernivo dat de fotolitografymasine net de minste trilling of termyske deformaasje ûnderfine mei. Miljeutrivlings dy't generearre wurde troch de wurking fan oare apparatuer en personielsbeweging yn 'e workshop, lykas de waarmte dy't produsearre wurdt troch de fotolitografymasine sels tidens wurking, kinne allegear de krektens fan 'e fotolitografy beynfloedzje. Granyt hat in hege tichtheid en in hurde tekstuer, en it hat poerbêste trillingsbestriding. De ynterne minerale kristalstruktuer is kompakt, wat trillingsenerzjy effektyf kin ferswakje en trillingsfersprieding fluch ûnderdrukke kin. Eksperimintele gegevens litte sjen dat ûnder deselde trillingsboarne de granytbasis de trillingsamplitude mei mear as 90% kin ferminderje binnen 0,5 sekonden. Yn ferliking mei de metalen basis kin it de apparatuer rapper werombringe nei stabiliteit, wêrtroch't de krekte relative posysje tusken de fotolitografylens en de wafer garandearre wurdt, en patroanwazigens of ferkearde ôfstimming feroarsake troch trilling foarkommen wurdt.
Underwilens is de termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt ekstreem leech, sawat (4-8) ×10⁻⁶/℃, wat folle leger is as dy fan metalen materialen. Tidens de wurking fan 'e fotolitografymasine, sels as de ynterne temperatuer fluktuearret troch faktoaren lykas waarmtegeneraasje fan 'e ljochtboarne en wriuwing fan meganyske komponinten, kin de granytbasis dimensjonele stabiliteit behâlde en sil gjin wichtige deformaasje ûndergean troch termyske útwreiding en krimp. It biedt stabile en betroubere stipe foar it optyske systeem en it presyzjebewegingsplatfoarm, wêrtroch't de konsistinsje fan fotolitografykrektens behâlden wurdt.
Pleatsingstiid: 20 maaie 2025