Yn 'e produksje fan healgeleiders is de fotolitografymasine in wichtich apparaat dat de presyzje fan chips bepaalt, en de graniten basis, mei syn meardere skaaimerken, is in ûnmisber ûnderdiel wurden fan 'e fotolitografymasine.
Termyske stabiliteit: It "Skild" tsjin temperatuerferoarings
As in fotolitografymasine yn wurking is, genereart it in grutte hoemannichte waarmte. Sels in temperatuerfluktuaasje fan mar 0.1 ℃ kin deformaasje fan 'e apparatuerkomponinten feroarsaakje en de krektens fan' e fotolitografy beynfloedzje. De termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt is ekstreem leech, mar 4-8 × 10⁻⁶/℃, wat sawat 1/3 is fan dy fan stiel en 1/5 fan dy fan aluminiumlegering. Dit stelt de granytbasis yn steat om dimensjonele stabiliteit te behâlden as de fotolitografymasine lange tiid wurket of as de omjouwingstemperatuer feroaret, wêrtroch't de krekte posysjonearring fan optyske komponinten en meganyske struktueren wurdt garandearre.
Super anti-vibraasjeprestaasjes: De "spons" dy't trillingen absorbearret
Yn in healgeleiderfabryk kinne de wurking fan omlizzende apparatuer en de beweging fan minsken allegear trillingen generearje. Granyt hat in hege tichtheid en in hurde tekstuer, en it hat poerbêste dempingseigenskippen, mei in dempingsferhâlding fan 2 oant 5 kear dy fan metalen. As eksterne trillingen oerdroegen wurde oan 'e granytbasis, konvertearret de wriuwing tusken de ynterne minerale kristallen de trillingsenerzjy yn waarmte-enerzjy foar dissipaasje, wat de trilling yn koarte tiid signifikant kin ferminderje, wêrtroch't de fotolitografymasine de stabiliteit fluch kin herstellen en wazigens of ferkearde ôfstimming fan it fotolitografypatroan troch trilling foarkomme kin.
Gemyske stabiliteit: De "beskermer" fan in skjinne omjouwing
De binnenkant fan in fotolitografymasine komt yn kontakt mei ferskate gemyske media, en gewoane metalen materialen binne gefoelich foar korrosje of it frijkommen fan dieltsjes. Granyt bestiet út mineralen lykas kwarts en feldspaat. It hat stabile gemyske eigenskippen en sterke korrosjebestriding. Nei it wiet meitsjen yn soere en alkaline oplossingen is de oerflakkorrosje ekstreem lyts. Underwilens genereart de tichte struktuer hast gjin pún of stof, en foldocht oan 'e easken fan' e heechste skjinne keamernormen en ferminderet it risiko op waferfersmoarging.
Ferwurkingsoanpasberens: It "ideale materiaal" foar it meitsjen fan krekte benchmarks
De kearnkomponinten fan 'e fotolitografymasine moatte ynstalleare wurde op in referinsje-oerflak mei hege presyzje. De ynterne struktuer fan granyt is unifoarm en it is maklik te ferwurkjen mei ekstreem hege presyzje troch slypjen, polyskjen en oare techniken. De flakheid kin ≤0.5μm/m berikke, en de oerflakteruwheid Ra is ≤0.05μm, wat in krekte ynstallaasjebasis biedt foar komponinten lykas optyske lenzen.
Lange libbensdoer en ûnderhâldsfrij: De "skerpe ark" foar kostenreduksje
Yn ferliking mei metalen materialen dy't gefoelich binne foar wurgens en barsten by lang gebrûk, ûndergiet granyt amper plestike deformaasje of breuk ûnder normale lesten, en it fereasket gjin oerflakbehanneling, wêrtroch it risiko fan ôfbladderjen en fersmoarging fan 'e coating foarkommen wurdt. Yn praktyske tapassingen, nei in protte jierren gebrûk, kinne de wichtichste prestaasje-yndikatoaren fan 'e granytbasis noch stabyl bliuwe, wêrtroch't de eksploitaasje- en ûnderhâldskosten fan 'e apparatuer ferminderje.
Fan termyske stabiliteit, trillingsbestriding oant gemyske inertheid, de meardere skaaimerken fan 'e graniten basis foldogge perfekt oan 'e easken fan 'e fotolitografymasine. Wylst it chipproduksjeproses him fierder ûntjout nei hegere presyzje, sille graniten basen in ûnferfangbere rol bliuwe spyljen op it mêd fan healgeleiderproduksje.
Pleatsingstiid: 20 maaie 2025