Yn 'e workshop foar it meitsjen fan healgeleiders binne de easken fan it chipproduksjeproses foar miljeu-omstannichheden en krektens fan apparatuer ekstreem, en elke lytse ôfwiking kin liede ta in wichtige delgong yn 'e chipopbringst. It XYZT-presyzje-gantry-bewegingsplatfoarm fertrout op graniten komponinten om gear te wurkjen mei oare dielen fan it platfoarm om in solide basis te lizzen foar it berikken fan krektens op nanoskaal.
Uitstekende trillingsblokkearjende eigenskippen
Yn 'e workshop foar healgeleiderproduksje kin de wurking fan perifeare apparatuer en personiel dat omrint trillingen feroarsaakje. De ynterne struktuer fan graniten komponinten is ticht en unifoarm, mei natuerlike hege dempingseigenskippen, lykas in effisjinte trillings"barriêre". As de eksterne trilling oerdroegen wurdt oan it XYZT-platfoarm, kin de graniten komponint effektyf mear as 80% fan 'e trillingsenerzjy ferswakje en de ynterferinsje fan trillingen op 'e krektens fan' e beweging fan it platfoarm ferminderje. Tagelyk is it platfoarm foarsjoen fan in heechpresyzje loftfloatgidssysteem, dat wurket yn kombinaasje mei graniten komponinten. De loftfloatgids brûkt de stabile gasfilm foarme troch hege drukgas om de kontaktleaze ophingingsbeweging fan 'e bewegende dielen fan it platfoarm te realisearjen en de lytse trillingen feroarsake troch meganyske wriuwing te ferminderjen. Tegearre soargje de twa derfoar dat de krektens fan 'e posysje fan it platfoarm altyd op nanometernivo hâlden wurdt yn wichtige prosessen lykas chiplitografy en etsen, en foarkomme de ôfwiking fan chipcircuitpatroanen feroarsake troch trillingen.
Uitstekende termyske stabiliteit
De fluktuaasje fan temperatuer en fochtigens yn 'e workshop hat in grutte ynfloed op 'e krektens fan chipproduksjeapparatuer. De termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt is tige leech, oer it algemien yn 5-7 × 10⁻⁶/℃, de grutte bliuwt hast ûnferoare as de temperatuer feroaret. Sels as it temperatuerferskil tusken dei en nacht yn 'e workshop of de waarmteproduksje fan' e apparatuer de omjouwingstemperatuer fluktuearret, kinne de granytkomponinten stabyl bliuwe om deformaasje fan it platfoarm troch termyske útwreiding en krimp te foarkommen. Tagelyk kontrolearret it yntelliginte temperatuerkontrôlesysteem dat mei it platfoarm foarsjoen is de omjouwingstemperatuer yn realtime, past automatysk de airconditioning en waarmteôffierapparatuer oan, en hâldt de workshoptemperatuer op 20 ° C ± 1 ° C. Yn kombinaasje mei de foardielen fan granytwaarmtestabiliteit, soarget it derfoar dat it platfoarm by lange termyn operaasje, de bewegingskrektens fan elke as altyd foldocht oan 'e nanometerpresyzjenormen fan chipproduksje, om te soargjen dat de grutte fan it chiplitografypatroan krekt is, en de etsdjipte unifoarm is.
Foldogge oan de behoeften fan in skjinne omjouwing
De healgeleiderproduksjewinkel moat in hege mjitte fan skjinens behâlde om te foarkommen dat stofdieltsjes de chip fersmoargje. Graniten materiaal sels produseart gjin stof, en it oerflak is glêd, net maklik om stof op te nimmen. It platfoarm as gehiel brûkt in folslein sletten of heal-sletten struktuerûntwerp om de yngong fan ekstern stof te ferminderjen. It ynterne loftsirkulaasjesysteem is keppele oan it skjinne airconditioningsysteem fan 'e workshop om te soargjen dat de ynterne loftskjinens it nivo berikt dat fereaske is foar chipproduksje. Yn dizze skjinne omjouwing sille granitenkomponinten de prestaasjes net beynfloedzje fanwegen stoferoazje, en wichtige komponinten lykas heechpresyzjesensors en motors fan it platfoarm kinne ek stabyl operearje, wêrtroch in trochgeande en betroubere nanoskaalkrektensgarânsje foar chipproduksje ûntstiet, en de healgeleideryndustry helpt om nei in heger prosesnivo te gean.
Pleatsingstiid: 14 april 2025