Op it mêd fan ynspeksje fan healgeleiderwafers is de suverens fan 'e skjinne keameromjouwing direkt relatearre oan 'e produktopbringst. Mei't de presyzje fan chipproduksjeprosessen bliuwt te ferbetterjen, wurde de easken foar de draachplatfoarms fan deteksjeapparatuer hieltyd stranger. Granitenplatfoarms, mei har skaaimerken fan nul metaalioanfrijlitting en lege dieltsjefersmoarging, hawwe tradisjonele roestfrij stielen materialen oertroffen en binne de foarkarsoplossing wurden foar waferynspeksjeapparatuer.
Granyt is in natuerlik stollingsgesteente dat benammen bestiet út net-metallyske mineralen lykas kwarts, feldspaat en glimmer. Dizze eigenskip jout it it foardiel fan gjin frijlitting fan metaalioanen. Yn tsjinstelling ta roestfrij stiel, as in legearing fan metalen lykas izer, chromium en nikkel, is gefoelich foar elektrogemyske korrosje op syn oerflak troch de eroazje fan wetterdamp en soere of alkaline gassen yn in skjinne keameromjouwing, wat resulteart yn 'e delslach fan metaalioanen lykas Fe²⁺ en Cr³⁺. Sadree't dizze lytse ioanen oan it oerflak fan 'e wafer hechtsje, sille se de elektryske eigenskippen fan it healgeleidermateriaal feroarje yn folgjende prosessen lykas fotolitografy en etsen, drompelspanningsdrift fan 'e transistor feroarsaakje, en sels liede ta koartslutingen yn it sirkwy. Testgegevens fan profesjonele ynstellingen litte sjen dat nei't it granytplatfoarm kontinu bleatsteld waard oan in simulearre skjinne keamertemperatuer en fochtigensomjouwing (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) foar 1000 oeren, de frijlitting fan metaalioanen leger wie as de deteksjelimyt (< 0,1 ppb). It defektpersintaazje fan wafers feroarsake troch metaalionfersmoarging by it brûken fan roestfrij stielen platfoarms kin sa heech wêze as 15% oant 20%.
Wat it kontrolearjen fan dieltsjesfersmoarging oanbelanget, prestearje graniten platfoarms ek útsûnderlik goed. Skjinne keamers hawwe ekstreem hege easken foar de konsintraasje fan swevende dieltsjes yn 'e loft. Bygelyks, yn ISO Klasse 1 skjinne keamers is it oantal tastiene dieltsjes fan 0,1 μm per kubike meter net mear as 10. Sels as it roestfrij stielen platfoarm in polijstbehanneling hat ûndergien, kin it noch metaalôffal of okside-skaal produsearje dy't ôfbladdert troch eksterne krêften lykas trillingen fan apparatuer en personielsoperaasjes, wat it optyske paad fan 'e deteksje kin bemuoie of it oerflak fan 'e wafer kin krassen. Graniten platfoarms, mei har tichte minerale struktuer (tichtens ≥2,7 g/cm³) en hege hurdens (6-7 op 'e Mohs-skaal), binne net gefoelich foar slijtage of brekken by lang gebrûk. Mjittingen litte sjen dat se de konsintraasje fan swevende dieltsjes yn 'e loft fan it gebiet fan 'e deteksjeapparatuer mei mear as 40% kinne ferminderje yn ferliking mei roestfrij stielen platfoarms, wêrtroch't de standerts foar skjinne keamers effektyf hanthavene wurde.
Neist syn skjinne skaaimerken, binne de wiidweidige prestaasjes fan graniten platfoarms ek folle better as dy fan roestfrij stiel. Wat termyske stabiliteit oanbelanget, is de koëffisjint fan termyske útwreiding mar (4-8) ×10⁻⁶/℃, minder as de helte fan dy fan roestfrij stiel (sawat 17×10⁻⁶/℃), wat de posysjonearringskrektens fan 'e deteksjeapparatuer better kin behâlde as de temperatuer yn 'e skjinne keamer fluktuearret. De hege dempingseigenskip (dempingsferhâlding > 0.05) kin de trilling fan 'e apparatuer fluch ferswakje en foarkomme dat de deteksjesonde trilt. Syn natuerlike korrosjebestriding makket it mooglik om stabyl te bliuwen, sels as it bleatsteld wurdt oan fotoresistoplosmiddels, etsgassen en oare gemikaliën sûnder de needsaak foar ekstra coatingbeskerming.
Op it stuit wurde granytplatfoarms in soad brûkt yn avansearre waferproduksjefabriken. Gegevens litte sjen dat nei it oannimmen fan it granytplatfoarm it taryf fan ferkearde ynskatting fan it deteksjeproses fan waferoerflakdieltsjes mei 60% ôfnommen is, de kalibraasjesyklus fan apparatuer mei trije kear útwreide is, en de totale produksjekosten mei 25% sakke binne. Wylst de healgeleideryndustry him rjochtet op hegere presyzje, sille granytplatfoarms, mei har kearnfoardielen lykas nul metaalioanfrijlitting en lege dieltsjefersmoarging, stabile en betroubere stipe bliuwe leverjen foar waferynspeksje, en in wichtige krêft wurde dy't de foarútgong fan 'e yndustry oandriuwt.
Pleatsingstiid: 20 maaie 2025