Yn it presyzjelaboratoarium foar it meitsjen fan chips is der in skynber ûnopmerklike "held efter de skermen" - de basis fan 'e graniten masine. Underskatte dizze stien net. It is de kaai ta it garandearjen fan 'e krektens fan net-destruktive testen fan wafers! Litte wy hjoed ris sjen hoe't it de deteksjeapparatuer altyd "horizontaal en fertikaal" hâldt.
1. Berne mei in "stabyl gen"
Granyt is gjin gewoane stien. De ynterne struktuer is as in ticht yninoar keppele "mineraalpuzel". Kwarts, feldspaat en oare kristallen binne ticht op elkoar pleatst, mei in ekstreem hege tichtheid en hast gjin holtes. Dit is krekt as it bouwen fan in hûs mei wapene beton, dat sawol stevich as stabyl is. As de ynspeksjeapparatuer derop "sit", sels as it ferskate tonnen weaget, is de deformaasje fan 'e granytbasis te ferwaarloazjen, mar ien tsiende fan dy fan stiel!
Noch yndrukwekkender is dat it hast net bang is foar temperatuerferoarings. Gewoane metalen materialen hawwe de neiging om "út te wreidzjen en oan gewicht te kommen" as se ferwaarme wurde en "ynkrimpen en tinner te wurden" as se ôfkuolle wurde. Granyt liket lykwols in "konstante temperatuermagy" te hawwen. As de temperatuer mei 1 ℃ fluktuearret, is de útwreiding en krimp mar ien tûzenste fan dy fan in minsklik hier. It moat opmurken wurde dat sels as der in lytse feroaring is yn 'e temperatuer fan it testlaboratoarium, de granytbasis de apparatuer stevich kin stypje en foarkomme dat de flakheid "ôfwykt".
Twadde, de ferwurkingstechnyk fan "duvelske details"
Om de graniten basis krekter te meitsjen, brûkten yngenieurs "swarte technology" foar ferwurking. Stel jo foar dat jo stiennen poetse mei "superskuorpapier" makke fan diamanten - sa wurket in fiif-assige slypmasine. It sil it oerflak fan it granyt yn trije stappen slypje om platter te wêzen as in spegel:
Rûch slypjen: Earst, ferwiderje de oerflakflekken fan 'e stien en kontrolearje de flakheid ta ien tweintichste fan in minsklike hier.
Semi-fyn slypjen: Fierdere ferfining, wêrby't de flakheid ferhege is nei ien fyftichste fan in minsklike hier.
Fyn slypjen: Uteinlik wurdt it gepolijst mei ultrafijn slyppoeier, wêrtroch in flakheid fan tûzenste fan in minsklik hier berikt wurdt! Op dit punt is it oerflak fan 'e graniten basis as in "horizontaal poadium" op maat makke foar de ynspeksjeapparatuer.
Guon high-end mounts hawwe ek in "smart brein" - de ynboude hege-presyzje wetterpas is as in "lytse wachter" dy't 24 oeren deis tsjinst docht. Sadree't it detektearret dat de apparatuer 0,01 graden kantele is (in hoeke lytser as dy fan in pinnepunt), sil it hydraulyske apparaat direkt aktivearje en de apparatuer binnen 30 sekonden "rjocht sette".
Tredde, yngenieus ûntwerp ferbetteret fierder de stabiliteit
De yngenieurs hawwe ek har harsens lein oan 'e struktuer fan 'e masinebasis. De ûnderkant is makke yn in hexagonale huningraatfoarm, krekt as in bijekast, wat net allinich it gewicht ferminderet, mar ek de druk evenredich ferdielt. As de deteksjesonde op 'e wafer beweecht, is de deformaasje op elk punt fan 'e basis hast presys itselde, wêrtroch't de horizontale referinsje de hiele tiid stabyl bliuwt.
Noch ferrassender is dat in "ûnsichtbere skokdemper" - in piëzoelektryske keramyske skokdemper - tusken de basis en de grûn ynstalleare is. It kin ferskate trillingen fan 1 oant 1000Hz fange lykas in radar en direkt omkearde weagen útstjoere om de ynterferinsje "tsjin te gean". Bygelyks, de trillingen dy't generearre wurde troch de wurking fan 'e masines neist de doar of de skokken fan auto's dy't bûten foarby ride, binne allegear "nutteloos" derfoar.
Gegevens sprekke foar himsels: Hoe krêftich is it effekt?
Yn praktyske tapassingen is de prestaasje fan 'e graniten basis echt fernuverejend:
Optyske ynspeksje: De krektens fan it identifisearjen fan oerflakdefekten op wafers is ferbettere fan 3 mikron nei 1 mikron (1 mikron = ien-sechstichste fan in minsklike hier).
Ultrasone testen: De flater by it mjitten fan waferdikte is mei trijekwart fermindere.
Langduorjend gebrûk: Nei in jier trochgeande operaasje is de feroaring yn nivo hast te ferwaarloazjen, wylst gewoane masinebases al lang "foaroerbûgd" binne.
Fan 'e foardielen fan natuerlike materialen oant krekte ferwurking en ynnovatyf ûntwerp, de graniten basis hat mei syn "sterkte" bewiisd dat as jo chips krekt detektearje wolle, dizze stien echt ûnmisber is!
Pleatsingstiid: 18 juny 2025