Yn fjilden lykas healgeleiderproduksje en presyzjemjitynstruminten bepaalt de krektens fan graniten presyzjeplatfoarms direkt de operasjonele kwaliteit fan 'e apparatuer. Om te soargjen dat de krektens fan it platfoarm oan 'e noarmen foldocht, moatte ynspanningen wurde dien fanút twa aspekten: it opspoaren fan wichtige yndikatoaren en neilibjen fan standertnormen.
Deteksje fan kearnindikatoren: Multidimensionale kontrôle fan krektens
Platheiddeteksje: Bepaling fan 'e "platheid" fan it referinsjeflak
Flakheid is de kearnindikatoar fan presyzjeplatfoarms fan graniten, en it wurdt meastentiids metten troch laserinterferometers of elektroanyske wetterpas. De laserinterferometer kin de lytse weagingen op it platfoarmoerflak presys mjitte troch in laserstriel út te stjoeren en it prinsipe fan ljochtynterferinsje te brûken, mei in krektens dy't it sub-mikronnivo berikt. De elektroanyske wetterpas mjit troch meardere kearen te bewegen en tekenet in trijediminsjonale kontoerkaart fan it platfoarmoerflak om te detektearjen oft d'r lokale útsteksels of ferdjippings binne. Bygelyks, de granitenplatfoarms dy't brûkt wurde yn healgeleiderfotolitografymasines moatte in flakheid hawwe fan ± 0,5 μm/m, wat betsjut dat it hichteferskil binnen in lingte fan 1 meter net mear as in heale mikrometer moat wêze. Allinnich troch hege-presyzje deteksjeapparatuer kin dizze strange standert garandearre wurde.
2. Rjochtheiddeteksje: Soargje foar de "rjochtheid" fan lineêre beweging
Foar platfoarms dy't presyzje bewegende ûnderdielen drage, is rjochtheid fan libbensbelang. De mienskiplike metoaden foar deteksje binne de triedmetoade of de laserkollimator. De triedmetoade omfettet it ophingjen fan hege-presyzje stielen triedden en it fergelykjen fan de gat tusken it platfoarmoerflak en de stielen triedden om de rjochtheid te bepalen. De laserkollimator brûkt de lineêre ferspriedingskarakteristiken fan laser om de lineêre flater fan it ynstallaasjeoerflak fan 'e platfoarmgidsrail te detektearjen. As de rjochtheid net oan 'e standert foldocht, sil it feroarsaakje dat de apparatuer ferskowt tidens beweging, wat ynfloed hat op 'e ferwurkings- of mjitkrektens.
3. Deteksje fan oerflakrûchheid: Soargje foar de "fynens" fan kontakt
De oerflakteruwheid fan it platfoarm beynfloedet de fit fan 'e ynstallaasje fan komponinten. Yn 't algemien wurdt in stylus-ruwheidsmeter of in optyske mikroskoop brûkt foar deteksje. It stylus-type ynstrumint registrearret de hichteferoarings fan it mikroskopyske profyl troch kontakt te meitsjen mei it platfoarmoerflak mei in fyn probe. Optyske mikroskopen kinne de oerflaktekstuer direkt observearje. Yn hege-presyzje tapassingen moat de oerflakteruwheid fan graniten platfoarms wurde kontroleare op Ra≤0.05μm, wat lykweardich is oan in spegeleffekt, wêrtroch't derfoar soarge wurdt dat presyzjekomponinten strak passe tidens ynstallaasje en trilling of ferskowing feroarsake troch gatten foarkommen wurdt.
De presyzjenormen folgje: ynternasjonale noarmen en ynterne kontrôle fan 'e ûndernimming
Op it stuit wurde ynternasjonaal de noarmen ISO 25178 en GB/T 24632 faak brûkt as basis foar it bepalen fan 'e krektens fan graniten platfoarms, en d'r binne dúdlike klassifikaasjes foar yndikatoaren lykas flakheid en rjochtheid. Derneist stelle high-end produksjebedriuwen faak strangere ynterne kontrôlenormen. Bygelyks, de flakheidseasken foar it graniten platfoarm fan 'e fotolitografymasine binne 30% heger as de ynternasjonale standert. By it útfieren fan testen moatte de mjitten gegevens wurde fergelike mei de oerienkommende noarmen. Allinnich platfoarms dy't folslein foldogge oan 'e noarmen kinne stabile prestaasjes yn presyzjeapparatuer garandearje.
It ynspektearjen fan 'e krektens fan presyzjeplatfoarms fan graniten is in systematysk projekt. Allinnich troch it strikt testen fan kearnindikatoaren lykas flakheid, rjochtheid en oerflakteruwheid, en it neilibjen fan ynternasjonale en bedriuwsnoarmen, kin de hege presyzje en betrouberens fan it platfoarm garandearre wurde, wêrtroch in solide basis lein wurdt foar high-end produksjefjilden lykas healgeleiders en presyzje-ynstruminten.
Pleatsingstiid: 21 maaie 2025