Granyt is in hurd en duorsum materiaal dat faak brûkt wurdt yn 'e bouyndustry. It hat lykwols ek eigenskippen dy't it nuttich meitsje yn 'e produksje fan healgeleiders, benammen yn 'e fabrikaazje en ferwurking fan yntegreare circuits. Granytkomponinten, lykas granyttafels en granytblokken, wurde in soad brûkt fanwegen har stabiliteit, flakheid en lege termyske útwreidingskoëffisjint.
Ien fan 'e primêre gebrûken fan graniten komponinten yn 'e produksje fan healgeleiders is yn it fabrikaazjeproses. Silisiumwafers, de basisboublokken fan yntegreare circuits, moatte mei hege presyzje en krektens makke wurde. Elke ferfoarming of beweging tidens it proses kin liede ta defekten dy't de kwaliteit en funksjonaliteit fan 'e yntegreare circuits kinne beynfloedzje. Graniten tafels, mei har hege stabiliteit en flakheid, biede in goed platfoarm foar de waferferwurkingsapparatuer. Se binne ek resistint tsjin termyske útwreiding en krimp feroarsake troch de ferwaarming en koeling dy't nedich binne yn it proses.
Granitenblokken wurde ek brûkt yn healgeleiderferwurking foar har termyske stabiliteit. Tidens ets- of ôfsettingsprosessen wurde waarme gassen of plasma's brûkt om it oerflak fan 'e silisiumwafer te modifisearjen. De temperatuer fan 'e wafer moat wurde kontroleare om te soargjen dat it proses effisjint en sekuer útfierd wurdt. Granitenblokken, mei har lege termyske útwreidingskoëffisjint, helpe om de temperatuer fan 'e wafer te stabilisearjen, wêrtroch it risiko op temperatuerfluktuaasjes dy't de kwaliteit fan it ferwurke materiaal kinne beynfloedzje, wurdt fermindere.
Neist de fabrikaazje- en ferwurkingsprosessen wurde graniten komponinten ek brûkt yn 'e metrology- en ynspeksjestadia fan healgeleiderproduksje. Metrologymjittingen wurde makke om te soargjen dat de grutte, foarm en posysje fan 'e struktueren op' e wafer binnen de fereaske spesifikaasjes binne. Granitenblokken wurde brûkt as referinsjestanderts yn dizze mjittingen fanwegen har dimensjonele stabiliteit en krektens. Se wurde ek brûkt yn ynspeksjestadia, wêr't de kwaliteit fan 'e yntegreare circuits ûnder hege fergrutting kontrolearre wurdt.
Oer it algemien is it gebrûk fan granytkomponinten yn 'e produksje fan healgeleiders de lêste jierren tanommen. De needsaak foar hege presyzje, krektens en stabiliteit yn 'e fabrikaazje en ferwurking fan yntegreare circuits hat de oannimming fan dizze materialen troch healgeleiderfabrikanten oandreaun. De unike eigenskippen fan granyt, lykas syn hurdens, stabiliteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint, meitsje it in poerbêste kar foar gebrûk yn dizze prosessen. Mei de trochgeande ûntwikkeling en ferbettering fan healgeleidertechnology wurdt ferwachte dat it gebrûk fan granytkomponinten yn 'e takomst fierder sil groeie.
Pleatsingstiid: 5 desimber 2023