Yn apparatuer foar produksje fan healgeleiders en opto-elektronika wurdt granyt benammen brûkt yn wichtige ûnderdielen lykas presyzjebewegingsplatfoarms, liedingsrailbases, trillingsisolaasje-stipestrukturen en ynstallaasjesubstraten foar optyske komponinten. Dizze ûnderdielen hawwe ekstreem hege easken foar presyzje, stabiliteit en miljeutolerânsje. De skaaimerken fan granyt kinne presys foldwaan oan 'e strange easken fan' e healgeleider- en opto-elektronika-yndustry. Hjirûnder folget de analyze fan spesifike tapassingsscenario's en foardielen:
I. Wichtichste tapassingsûnderdielen
Presyzjebewegingsplatfoarms (lykas waferplatfoarms foar fotolitografymasines en bondingmasines)
It wurdt brûkt om presyzjekomponinten lykas wafers en optyske lenzen te dragen, wêrtroch't oersettings- en rotaasjebewegingen mei nanoskaalkrektens berikt wurde.
Typyske apparatuer: wurkstiktafel fan fotolitografymasine, posysjonearringsplatfoarm fan mjitapparatuer.
Basis fan 'e gidsrail en framestruktuer
As de ynstallaasjebasis foar lineêre gidsen en loftfloataasjegidsen, stipet it it kearnbewegingsmeganisme fan 'e apparatuer.
Typyske apparatuer: meganyske frames fan healgeleiderferpakkingsapparatuer en optyske ynspeksje-ynstruminten.
Trillingsisolaasje-stipe en stabiliserende struktuer
It wurdt brûkt om eksterne trillingen te isolearjen (lykas trillingen fan 'e fabryksflier of tidens apparatueroperaasje), wêrtroch't de stabiliteit fan optyske systemen of presyzjemasines garandearre wurdt.
Typyske senario's: Basisstipe foar optyske mikroskopen en laserinterferometers.
Optyske komponint montagesubstraat
Befestigje optyske apparaten lykas spegels, prisma's en lasers om de stabiliteit op lange termyn fan 'e krektens fan' e ôfstimming fan it optyske paadsysteem te garandearjen.
Typyske apparatuer: Opto-elektronyske ferpakkingsapparatuer, optyske glêstriedkoppelingssystemen.
Pleatsingstiid: 29 maaie 2025