Graniten presyzjeplatfoarms, mei har hege styfheid, lege útwreidingskoëffisjint, poerbêste dempingsprestaasjes en natuerlike anty-magnetyske eigenskippen, hawwe ûnferfangbere tapassingswearde yn high-end produksje- en wittenskiplike ûndersyksfjilden wêr't presyzje en stabiliteit heech easke wurde. Hjirûnder binne de kearn tapassingsscenario's en technyske foardielen:
I. Fjild fan ultra-presyzje ferwurkingsapparatuer
Apparatuer foar it meitsjen fan healgeleiders
Tapassingsscenario's: wurkstiktafel foar litografymasines, basis fan wafer-snijmasines, posysjonearringsplatfoarm foar ferpakkingsapparatuer.
Technyske wearde:
De termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt is mar (0.5-1.0) × 10⁻⁶/℃, wat de temperatuerfluktuaasje kin wjerstean tidens de nanoskaal-eksposysje fan 'e litografymasine (ferpleatsingsflater < 0.1nm yn in omjouwing fan ±0.1℃).
De ynterne mikro-poarestruktuer foarmet in natuerlike demping (dempingsferhâlding 0,05 oant 0,1), wêrtroch't de trilling (amplitude < 2μm) ûnderdrukt wurdt tidens hege snelheidssnijden troch de blokjesmasine en derfoar soarget dat de rânerûchheid Ra fan it wafersnijden minder is as 1μm.
2. Presyzjeslypmasines en koördinaatmjitmasines (CMM)
Applikaasjegefal:
De basis fan 'e trije-koördinaat mjitmasine oannimt in yntegraal graniten struktuer, mei in flakheid fan ± 0.5μm/m. Yn kombinaasje mei de loft-driuwende liedingrail berikt it nano-nivo bewegingskrektens (herhellingsposysjekrektens ± 0.1μm).
De wurktafel fan 'e optyske slypmasine brûkt in gearstalde struktuer fan granyt en sulveren stiel. By it slypjen fan K9-glês is de oerflakgolf minder as λ/20 (λ=632.8nm), wat foldocht oan 'e ultra-glêde ferwurkingseasken fan laserlinsen.
Ii. Fjild fan optyk en fotonika
Astronomyske teleskopen en lasersystemen
Typyske tapassingen:
It stipeplatfoarm fan it refleksje-oerflak fan 'e grutte radioteleskoop oannimt in graniten huningraatstruktuer, dy't licht is yn eigengewicht (tichtens 2,7 g/cm³) en in sterke wyntrillingsbestriding hat (deformaasje < 50 μm ûnder in wyn fan 10 nivo's).
It optyske platfoarm fan 'e laserinterferometer brûkt mikroporeus granyt. De reflektor wurdt fêstmakke troch fakuümadsorpsje, mei in flakheidsflater fan minder as 5 nm, wat de stabiliteit fan ultra-presys optyske eksperiminten lykas gravitasjonele weachdeteksje garandearret.
2. Presyzje optyske komponintferwurking
Technyske foardielen:
De magnetyske permeabiliteit en elektryske gelieding fan it graniten platfoarm binne hast nul, wêrtroch't de ynfloed fan elektromagnetyske ynterferinsje op presyzjeprosessen lykas ionbeampoliëring (IBF) en magnetorheologysk poliëring (MRF) foarkommen wurdt. De PV-wearde fan 'e krektens fan' e oerflakfoarm fan 'e ferwurke asfyske lens kin λ/100 berikke.
III. Loftfeart- en presyzje-ynspeksje
Platfoarm foar ynspeksje fan loftfeartkomponinten
Tapassingsscenario's: Trijediminsjonale ynspeksje fan fleantúchblêden, mjitting fan foarm- en posysjetolerânsjes fan strukturele komponinten fan aluminiumlegering fan loftfeart.
Wichtige prestaasjes:
It oerflak fan it graniten platfoarm wurdt behannele troch elektrolytyske korrosje om fyn patroanen te foarmjen (mei in rûchheid fan Ra 0.4-0.8μm), geskikt foar hege-presyzje triggersondes, en de flater by it detektearjen fan it blêdprofyl is minder as 5μm.
It kin in lading fan mear as 200 kg oan loftfeartkomponinten ferneare, en de feroaring yn flakheid nei lang gebrûk is minder as 2 μm/m, en foldocht oan de easken foar presyzjeûnderhâld fan klasse 10 yn 'e loftfeartyndustry.
2. Kalibraasje fan inertiële navigaasjekomponinten
Technyske easken: Statyske kalibraasje fan traachheidsapparaten lykas gyroskopen en fersnellingsmeters fereasket in ultra-stabyl referinsjeplatfoarm.
Oplossing: It graniten platfoarm wurdt kombinearre mei in aktyf trillingsisolaasjesysteem (natuerlike frekwinsje < 1Hz), wêrtroch't in hege-presyzje kalibraasje fan 'e nul-offset stabiliteit fan traachheidskomponinten < 0.01°/o berikt wurdt yn in omjouwing mei trillingsfersnelling < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanotechnology en Biomedicine
Skannende probe mikroskoop (SPM) platfoarm
Kearnfunksje: As basis foar atoomkrêftmikroskopie (AFM) en scanning tunneling mikroskopie (STM), moat it isolearre wurde fan miljeutrillingen en termyske drift.
Prestaasje-yndikatoaren:
It graniten platfoarm, yn kombinaasje mei pneumatyske trillingsisolaasjepoaten, kin de oerdrachtsnelheid fan eksterne trillingen (1-100Hz) ferminderje nei minder as 5%, wêrtroch't ôfbylding op atomêr nivo fan AFM yn 'e atmosfearyske omjouwing berikt wurdt (resolúsje < 0.1nm).
De temperatuergefoelichheid is minder as 0.05μm/℃, wat foldocht oan de easken foar nanoskaalobservaasje fan biologyske samples yn in konstante temperatuer (37℃±0.1℃) omjouwing.
2. Biochip-ferpakkingsapparatuer
Tapassingsgefal: It hege-presyzje-útrjochtingsplatfoarm foar DNA-sekwinsjechips brûkt graniten loft-driuwende liedingsrails, mei in posysjonearringskrektens fan ± 0,5 μm, wêrtroch't submikron-bining tusken it mikrofluidyske kanaal en de deteksje-elektrode garandearre wurdt.
V. Opkommende applikaasjescenario's
Basis fan kwantumkompjûterapparatuer
Technyske útdagings: Qubit-manipulaasje fereasket ekstreem lege temperatueren (mK-nivo) en in ultra-stabile meganyske omjouwing.
Oplossing: De ekstreem lege termyske útwreidingseigenskip fan granyt (útwreidingssnelheid < 1ppm fan -200 ℃ oant keamertemperatuer) kin oerienkomme mei de krimpkarakteristiken fan supergeleidende magneten by ultra-lege temperatuer, wêrtroch't de krektens fan ôfstimming by it ynpakken fan kwantumchips garandearre wurdt.
2. Elektronenbeamlitografy (EBL) systeem
Wichtige prestaasjes: De isolaasje-eigenskip fan it graniten platfoarm (wjerstân > 10¹³Ω · m) foarkomt fersprieding fan elektronenstrielen. Yn kombinaasje mei de elektrostatyske spindeloandriuwing berikt it heechpresyzje litografyske patroanen mei in nanoskaal linebreedte (< 10 nm).
Gearfetting
De tapassing fan presyzjeplatfoarms fan granyt hat him útwreide fan tradisjonele presyzjemasines nei baanbrekkende fjilden lykas nanotechnology, kwantumfysika en biomedisinen. De kearnkonkurrinsjefermogen leit yn 'e djippe koppeling fan materiaaleigenskippen en technyske easken. Yn 'e takomst, mei de yntegraasje fan kompositfersterkingstechnologyen (lykas grafeen-granyt-nanokompositen) en yntelliginte sensortechnologyen, sille granytplatfoarms trochbrekke yn 'e rjochting fan krektens op atomêr nivo, stabiliteit yn it folsleine temperatuerberik en multifunksjonele yntegraasje, en de kearnbasiskomponinten wurde dy't de folgjende generaasje fan ultra-presyzjeproduksje stypje.
Pleatsingstiid: 28 maaie 2025