Granytmaterialen wurde in soad brûkt yn 'e healgeleideryndustry fanwegen har poerbêste skaaimerken, lykas hege stabiliteit, lege termyske útwreiding en hege wjerstân tsjin korrosje. Dizze eigenskippen meitsje granyt in ideaal materiaal foar it bouwen fan heechpresyzjekomponinten yn in wafer-oerdrachtsysteem.
Yn it produksjeproses fan healgeleiders spilet it wafer-oerdrachtsysteem in krúsjale rol by it transportearjen fan wafers oer ferskate stadia fan it produksjeproses. Presyzje en krektens binne de essensjele easken foar dizze systemen, om't sels lytse ôfwikingen it heule proses yn gefaar bringe kinne. Dêrom moatte komponinten yn it wafer-oerdrachtsysteem makke wurde fan materialen fan hege kwaliteit, en granyt foldocht oan dy kritearia.
Guon ûnderdielen fan it wafer-oerdrachtsysteem dy't makke binne fan granytmaterialen omfetsje:
1. Fakuüm Chuck Tabel
De fakuüm-chucktafel wurdt brûkt om de wafer tidens it proses fêst te hâlden, en it moat in stabyl oerflak hawwe om te soargjen dat de wafer net beskeadige wurdt. Granyt is in ideaal materiaal foar it meitsjen fan dizze tafel, om't it in flak, net-poreus oerflak hat dat hege stabiliteit en presyzje biedt. Derneist hat granyt in lege termyske útwreidingskoëffisjint, wêrtroch it resistint is foar temperatuerferoarings dy't dimensjonele feroarings yn 'e wafer feroarsaakje kinne.
2. Loftdragende stadium
De loftdragende poadium wurdt brûkt om de wafer troch ferskate stadia fan it produksjeproses te ferfieren. De poadium is ûntwurpen om in wriuwingleaze beweging te leverjen, wat hege presyzje en stabiliteit fereasket. Granyt wurdt brûkt yn dizze tapassing om't it in stive en hurde stien is, en it ferset tsjin deformaasje en slijtage oer tiid.
3. Lineêre bewegingsgidsen
De lineêre bewegingsgidsen wurde brûkt om it loftdragende poadium te lieden, en se moatte sekuer posysjonearre wurde om flaters te minimalisearjen. Granyt wurdt brûkt om dizze gids te bouwen, om't it poerbêste meganyske stabiliteit en sterkte hat. It materiaal is ek korrosjebestindich, wat de lange libbensdoer fan it gidssysteem garandearret.
4. Metrology-apparatuer
Metrology-apparatuer wurdt brûkt om de ôfmjittings en eigenskippen fan 'e wafer te mjitten tidens it produksjeproses. Granyt is in ideaal materiaal foar it bouwen fan dizze apparatuer, om't it hege styfheid, lege útwreiding en minimale deformaasje ûnder lading hat. Boppedat soarget de termyske stabiliteit fan granyt derfoar dat de metrology-apparatuer stabyl en akkuraat bliuwt yn 'e rin fan' e tiid.
Konklúzjend, de healgeleideryndustry fertrout op presyzje en krektens, en granytmaterialen hawwe bewiisd tige betrouber en stabyl te wêzen yn it produksjeproses. Mei in protte krityske komponinten yn it wafer-oerdrachtsysteem dy't hege stabiliteit, presyzje en lege termyske útwreiding fereaskje, hawwe yngenieurs har ta granytmaterialen keare om oan dizze krityske easken te foldwaan.
Pleatsingstiid: 19 maart 2024