Granite-materialen wurde breed brûkt yn 'e semyonduïne-yndustry fanwege har treflike skaaimerken, lykas hege stabiliteit, leech thermyske útwreiding, en hege ferset tsjin korrossje. Dizze eigenskippen meitsje graniten in ideaal materiaal foar it bouwen fan komponinten mei hege presyzje yn in waferferfiersysteem.
Yn it MEIMONDOR-fabrikaazjeproduksje spilet it Wafer Transfer-systeem in krityske rol by it ferfier fan wafels oer ferskate stadia fan it fabrikaazjeproses. Krekt en krektens binne de essensjele easken foar dizze systemen as sels ljochte ôfwikingen koene it heule proses yn gefaar bringe. Dêrom moat komponinten yn it WAFER-transfer-systeem makke wurde út materialen fan hege kwaliteit, en graniten foldocht oan dy kritearia.
Guon dielen fan it WAFER Transfer-systeem dat binne makke fan Granite-materialen omfetsje:
1 Vacuum Chuck tafel
De stof-chuck-tafel wurdt brûkt foar it hâlden fan 'e wafel tidens it proses, en it moat in stabile oerflak hawwe om te soargjen dat de wafer net skansearre is. Granite is in ideaal materiaal foar it meitsjen fan dizze tafel, om't it in platte, net-poreuze oerflak hat dat hege stabiliteit en presys leveret. Derneist hat Granite in lege koëffisjint fan thermyske útwreiding, wêrtroch't it resistint is foar temperatuerferoaringen dy't dimensjale feroaringen kinne feroarsaakje yn 'e wafel.
2. Luchtferfier poadium
De fleanfearingsstadium wurdt brûkt om de wafel te ferfieren fia ferskate stadia fan it fabrikaazjeproses. It poadium is yngenieur om in friksjeleaze beweging te leverjen, dy't hege presyzje en stabiliteit freget. Granite wurdt brûkt yn dizze applikaasje, om't it in rigide en hurde stien is, en it ferset tsjin deformation en drage oer tiid.
3. Lineêre beweginggidsen
De lineêre bewegingsgidsen wurde brûkt om it fleantúch-poadium te liede, en se moatte akkuraat wurde pleatst om flaters te minimalisearjen. Granite wurdt brûkt om dizze hantlieding te bouwen, om't it poerbêste meganyske stabiliteit en sterkte hat. It materiaal is ek korrosie-resistint, dy't de langstens fan it lútingssysteem soarget.
4. Metrology-apparatuer
Metrology-apparatuer wurdt brûkt om de dimensjes en eigenskippen fan 'e wafel te mjitten tidens it fabrikaazjeproses. Granite is in ideaal materiaal foar it bouwen fan dizze apparatuer, om't it hege stivens hat, leech útwreiding, en minimale deformation ûnder lading. Boppedat soarget derfoar, granite's thermyske stabiliseart dat de metropology-apparatuer stabyl en krekte oer tiid bliuwt.
By konklúzje fertrouwet de Semicondor-yndustry oer presys en krektens, en Granite-materialen hawwe bewiisd te wêzen heul betrouber en stabyl yn it fabrikaazjeproses. Mei in protte krityske komponinten yn it waferferwurksysteem fereasket hege stabiliteit, presys, en leech thermyske útwreiding, binne yngenieurs omdraaid om dizze krityske easken te foldwaan.
Posttiid: MAR-19-2024