Op it mêd fan presyzjemjitting is it presyzjeplatfoarm fan graniten mei syn poerbêste stabiliteit, hege hurdens en goede slijtvastheid de ideale basisstipe wurden foar in protte hege-presyzje mjitwurken. De temperatuerfluktuaasjes yn 'e miljeufaktoaren, lykas de "presyzjekiller" ferburgen yn it tsjuster, hawwe lykwols in net te ferwaarloazjen ynfloed op 'e mjitkrektens fan it presyzjeplatfoarm fan graniten. It is fan grut belang om de ynfloedsdrompel djip te ûndersykjen om de krektens en betrouberens fan mjitwurk te garandearjen.
Hoewol granyt bekend stiet om syn stabiliteit, is it net ymmún foar temperatuerferoarings. De wichtichste komponinten binne kwarts, feldspaat en oare mineralen, dy't by ferskate temperatueren termyske útwreiding en krimp feroarsaakje. As de omjouwingstemperatuer omheech giet, wurdt it presyzjeplatfoarm fan granyt ferwaarme en útwreide, en sil de grutte fan it platfoarm wat feroarje. As de temperatuer sakket, sil it weromkrimpe nei syn oarspronklike steat. Skynber lytse grutteferoarings kinne wurde fergrutte ta wichtige faktoaren dy't ynfloed hawwe op mjitresultaten yn presyzjemjitscenario's.
As wy it foarbyld nimme fan it mienskiplike koördinaatmjitynstrumint dat oerienkomt mei graniten platfoarm, berikke de easken foar mjitkrektens by hege-presyzje mjittingstaken faak it mikronnivo of sels heger. Der wurdt fan útgien dat by de standerttemperatuer fan 20 ℃ de ferskate dimensjonele parameters fan it platfoarm yn in ideale steat binne, en krekte gegevens kinne wurde krigen troch it mjitten fan it wurkstik. As de omjouwingstemperatuer fluktuearret, is de situaasje hiel oars. Nei in grut oantal eksperimintele gegevensstatistiken en teoretyske analyze, ûnder normale omstannichheden, by in fluktuaasje fan 'e omjouwingstemperatuer fan 1 ℃, is de lineêre útwreiding of krimp fan it presyzjeplatfoarm fan graniten sawat 5-7 × 10⁻⁶/℃. Dit betsjut dat foar in graniten platfoarm mei in sydlingte fan 1 meter, de sydlingte kin feroarje mei 5-7 mikron as de temperatuer feroaret mei 1 °C. By presyzjemjittingen is sa'n feroaring yn grutte genôch om mjitfouten te feroarsaakjen bûten it akseptabele berik.
Foar it mjitwurk dat fereaske wurdt troch ferskate krektensnivo's, is de ynfloeddrompel fan temperatuerfluktuaasje ek oars. By gewoane presyzjemjitting, lykas de gruttemjitting fan meganyske ûnderdielen, as de tastiene mjitflater binnen ± 20 mikron leit, moat neffens de boppesteande útwreidingskoëffisjintberekkening de temperatuerfluktuaasje kontroleare wurde binnen it berik fan ± 3-4 ℃, om de mjitflater feroarsake troch de feroaring fan platfoarmgrutte op in akseptabel nivo te kontrolearjen. Yn gebieten mei hege presyzje-easken, lykas de litografyprosesmjitting yn 'e produksje fan healgeleiderchips, is de flater tastien binnen ± 1 mikron, en moat de temperatuerfluktuaasje strang kontroleare wurde binnen ± 0.1-0.2 ° C. Sadree't de temperatuerfluktuaasje dizze drompel oerskriuwt, kin de termyske útwreiding en krimp fan it graniten platfoarm ôfwikingen yn 'e mjitresultaten feroarsaakje, wat ynfloed sil hawwe op 'e opbringst fan chipproduksje.
Om de ynfloed fan fluktuaasjes yn 'e omjouwingstemperatuer op 'e mjitkrektens fan it presyzjeplatfoarm fan graniten oan te pakken, wurde in protte maatregels faak nommen yn 'e praktyk. Bygelyks, apparatuer mei hege presyzje en konstante temperatuer wurdt ynstalleare yn 'e mjitomjouwing om de temperatuerfluktuaasje yn in heul lyts berik te kontrolearjen; Temperatuerkompensaasje wurdt útfierd op 'e mjitgegevens, en de mjitresultaten wurde korrizjeare troch in softwarealgoritme neffens de termyske útwreidingskoëffisjint fan it platfoarm en temperatuerferoarings yn realtime. Hokker maatregels der ek nommen wurde, it krekte begryp fan 'e ynfloed fan fluktuaasjes yn 'e omjouwingstemperatuer op 'e mjitkrektens fan it presyzjeplatfoarm fan graniten is it útgongspunt om krekt en betrouber mjitwurk te garandearjen.
Pleatsingstiid: 3 april 2025