Yn 'e healgeleideryndustry is waferynspeksje in wichtige ferbining om de kwaliteit en prestaasjes fan 'e chip te garandearjen, en de krektens en stabiliteit fan 'e ynspeksjetafel spylje in beslissende rol yn 'e deteksjeresultaten. Graniten basis mei syn unike skaaimerken is de ideale kar wurden foar healgeleiderwaferynspeksjetafels, it folgjende út 'e multidimensionale analyze foar jo.
Earst, de diminsje fan 'e presyzjegarânsje
1. Ultrahege flakheid en rjochtheid: De graniten basis wurdt ferwurke troch avansearre ferwurkingstechnology, en de flakheid kin ± 0.001 mm / m of sels hegere krektens berikke, en de rjochtheid is ek poerbêst. Yn it wafer-ynspeksjeproses soarget it hege-presyzje flak foar stabile stipe foar de wafer en soarget foar krekt kontakt tusken de sonde fan 'e ynspeksje-apparatuer en de soldeerferbiningen op it waferoerflak.
2. Hiel lege termyske útwreidingskoëffisjint: healgeleiderproduksje is gefoelich foar temperatuerferoarings, en de termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt is ekstreem leech, meastal sawat 5 × 10⁻⁶/℃. As it deteksjeplatfoarm draait, sels as de omjouwingstemperatuer fluktuearret, feroaret de grutte fan 'e granytbasis tige min. Bygelyks, yn 'e hege-temperatuerworkshop yn 'e simmer kin de temperatuer fan it deteksjeplatfoarm fan gewoane metalen basis feroarsaakje dat de relative posysje fan 'e wafer en de deteksjeapparatuer ferskowt, wat de deteksjekrektens beynfloedet; It deteksjeplatfoarm fan granytbasis kin stabiliteit behâlde, de relative posysjekrektens fan wafer en deteksjeapparatuer tidens it deteksjeproses garandearje, en in stabile omjouwing leverje foar deteksje mei hege presyzje.
Twadde, stabiliteitsdiminsje
1. Stabile struktuer en trillingsbestriding: Granyt nei miljoenen jierren fan geologyske prosessen is de ynterne struktuer ticht en unifoarm. Yn 'e komplekse omjouwing fan in healgeleiderfabryk wurdt de trilling dy't ûntstiet troch de wurking fan perifeare apparatuer en personiel dat omrint effektyf ferswakke troch de granytbasis.
2. Langduorjend gebrûkskrektens: yn ferliking mei oare materialen hat granyt hege hurdens, sterke wearbestindigens, en Mohs-hurdens kin 6-7 berikke. It oerflak fan 'e granytbasis wurdt net maklik fersliten by faak laden, lossen en ynspeksje fan wafers. Neffens it werklike gebrûk fan gegevensstatistiken kin it gebrûk fan 'e testtafel fan' e granytbasis, nei trochgeande operaasje nei 5000 oeren, de flakens en rjochtheidskrektens noch mear as 98% fan 'e earste krektens behâlden wurde, wêrtroch't de apparatuer minder wurdt troch slijtage fan 'e basis feroarsake troch regelmjittige kalibraasje- en ûnderhâldstiden, en de bedriuwskosten wurde fermindere om de stabiliteit fan it testwurk op lange termyn te garandearjen.
Tredde, skjinne en anty-ynterferinsje diminsje
1. Lege stofgeneraasje: de omjouwing foar healgeleiderproduksje moat tige skjin wêze, en it graniten materiaal sels is stabyl en produseart net maklik stofdieltsjes. Tidens de wurking fan it testplatfoarm wurdt foarkommen dat it stof dat troch de basis generearre wurdt de wafer fersmoarget, en it risiko op koartsluting en iepen circuit feroarsake troch stofdieltsjes wurdt fermindere. Yn it waferynspeksjegebiet fan 'e stoffrije workshop wurdt de stofkonsintraasje om 'e graniten basisynspeksjetafel altyd kontroleare op in ekstreem leech nivo, wat foldocht oan 'e strange skjinenseasken fan 'e healgeleideryndustry.
2. Gjin magnetyske ynterferinsje: de deteksjeapparatuer is gefoelich foar de elektromagnetyske omjouwing, en granyt is in net-magnetysk materiaal, dat it elektroanyske sinjaal fan 'e deteksjeapparatuer net sil ynterferearje. By it brûken fan elektronenstrieldeteksje en oare testtechnologyen dy't in ekstreem hege elektromagnetyske omjouwing fereaskje, soarget de granytbasis foar de stabile oerdracht fan it elektroanyske sinjaal fan 'e deteksjeapparatuer en soarget foar de krektens fan 'e testresultaten. Bygelyks, as de wafer wurdt hifke op hege-presyzje elektryske prestaasjes, foarkomt de net-magnetyske granytbasis ynterferinsje mei de deteksjestroom- en spanningssignalen, sadat de deteksjegegevens de elektryske skaaimerken fan 'e wafer echt reflektearje.
Pleatsingstiid: 31 maart 2025