Granyt is in soarte hurde rots dy't in ûnmisber materiaal wurden is yn 'e healgeleiderproduksje-yndustry. Troch syn eigenskippen kin it hege temperatueren wjerstean, wat it ideaal makket foar gebrûk yn ferskate stadia fan produksjeprosessen foar healgeleiderapparaten. As gefolch hat granytassemblage wiidweidige tapassingsgebieten fûn yn apparaten foar healgeleiderproduksjeprosessen.
Ien fan 'e meast brûkte tapassingen fan granytassemblage is de konstruksje fan masine-arkstrukturen mei hege presyzje. De styfheid en stabiliteit fan granyt meitsje it mooglik om presys en krekte ark te produsearjen mei in bytsje of gjin deformaasje. Dit nivo fan presyzje is needsaaklik yn healgeleiderproduksjeprosessen lykas ionymplantaasje, wêrby't de striel sekuer op 'e wafer rjochte wurde moat.
In oare tapassing fan granitenassemblage yn 'e produksje fan healgeleiders is de konstruksje fan metrology-apparatuer. Metrology-apparatuer is essensjeel yn produksjeprosessen fan healgeleiders, om't it de krektens fan produsearre apparaten mjit en ferifiearret. De dimensjonele stabiliteit, lege termyske útwreiding en poerbêste trillingsdempende eigenskippen fan granyt meitsje it it materiaal fan kar yn 'e konstruksje fan metrology-apparatuer. Dit omfettet grutte graniten oerflakken dy't brûkt wurde by it staging en ynspeksje fan wafers.
Optyske tafels binne noch in oar gebiet fan wiidferspraat tapassing fan graniten gearstalling yn 'e healgeleideryndustry. Optyske tafels wurde brûkt by it testen fan optyske apparaten lykas golflieders foar datakommunikaasje. De flakheid, lege termyske útwreiding, hege styfheid en meganyske stabiliteit fan granyt meitsje it mooglik om in heul stabyl oerflak te leverjen foar it montearjen en posysjonearjen fan optyske materialen. Graniten optyske tafels kinne de stabiliteit en styfheid leverje dy't nedich binne om krekte, presys testen fan optyske apparaten út te fieren.
Granyt fynt ek tapassing yn 'e konstruksje fan waferchucks en poadia. Tidens it produksjeproses fan healgeleiders is presyzje-útrjochting en posysjekontrôle krúsjaal. Waferchucks, dy't de wafers op har plak hâlde tidens de ferwurking, moatte de posysjekrektens behâlde, wylst se hege temperatueren en fakuümomstannichheden wjerstean. Granyt hat poerbêste dimensjonele stabiliteit oer in breed temperatuerberik en kin fakuümomstannichheden wjerstean, wêrtroch it ideaal is foar de konstruksje fan waferchucks. Poadia dy't brûkt wurde by de beweging fan wafers fan de iene posysje nei de oare, geane troch in syklus fan bewegingen tidens in produksjeproses fan healgeleiders. Granyt-assemblage soarget foar stabiliteit en duorsumens dy't nedich binne om de trochgeande en werhelle syklussen fan beweging te fernearen.
Gearfetsjend is de tapassing fan granyt-assemblage yn 'e healgeleiderproduksje-yndustry enoarm. De eigenskippen lykas dimensjonele stabiliteit, lege termyske útwreiding, hege styfheid en trillingsdemping meitsje it in ideaal materiaal foar gebrûk yn ferskate stadia fan produksjeprosessen foar healgeleiderapparaten. Fan 'e konstruksje fan hege-presyzje masine-ark en metrology-apparatuer oant optyske tafels en waferstadia en chucks, de eigenskippen fan granyt spylje in krúsjale rol by it leverjen fan stabiliteit, krektens en werhelberens dy't nedich binne om heechweardige produksje fan healgeleiderapparaten te berikken.
Pleatsingstiid: 6 desimber 2023