Healgeleiderproduksje: Yn it chipproduksjeproses moat it fotolitografyproses it sirkwypatroan presys oerdrage nei de wafer. De graniten basis fan 'e ien-as loftdriuwende ultra-presyzje bewegingsmodule kin hege presyzje posysjonearring en stabile stipe leverje foar de wafertafel yn 'e litografyapparatuer. Bygelyks, ASML en oare ynternasjonaal ferneamde litografymasinefabrikanten brûke graniten basis loftdriuwende bewegingsmodules yn har high-end apparatuer, dy't de posysjonearringskrektens fan 'e wafer op nanometernivo kinne kontrolearje om de krektens fan it litografypatroan te garandearjen, wêrtroch't de yntegraasje en prestaasjes fan 'e chip ferbettere wurde.
Presyzjemjittingsfjild: CMM is in presyzjemjittingsapparaat dat faak brûkt wurdt yn yndustriële produksje, dat brûkt wurdt om de grutte, foarm en posysjekrektens fan it wurkstik te mjitten. De ultra-presyzje bewegingsmodule fan 'e ienassige loftfloat op' e graniten basis kin brûkt wurde as it bewegingsplatfoarm fan 'e CMM, dy't lineêre beweging mei hege presyzje kin realisearje en in stabile bewegingstrajekt foar de mjitsonde kin leverje. Bygelyks, Hexagon's high-end CMM brûkt dizze kombinaasje om grutte en komplekse ûnderdielen te mjitten mei mjitkrektens oant it mikronnivo, wat in sterke garânsje biedt foar kwaliteitskontrôle fan ûnderdielen yn 'e auto-, loftfeart- en oare yndustry.
Loftfeartfjild: By it ferwurkjen en testen fan loftfeartûnderdielen is hege presyzje fereaske. Bygelyks, it ferwurkjen fan fleantúchmotorblêden fereasket krekte kontrôle fan 'e bewegingstrajekt fan it ark om de krektens fan it blêdprofyl te garandearjen. De graniten basis fan 'e ienassige loftfloat ultra-presyzje bewegingsmodule kin tapast wurde op it fiifassige ferwurkingssintrum en oare apparatuer om hege-presyzje bewegingskontrôle foar it ark te leverjen en te soargjen dat de ferwurkingskrektens fan it blêd foldocht oan 'e ûntwerpeasken. Tagelyk is it yn it gearstallingsproses fan 'e loftfeartmotor ek nedich om hege-presyzje mjitapparatuer te brûken om de gearstallingskrektens fan 'e ûnderdielen te detektearjen. De loftfloatbewegingsmodule fan 'e graniten basis kin stabile stipe en krekte beweging leverje foar de mjitapparatuer om de gearstallingskwaliteit te garandearjen.
Optysk ynspeksjefjild: Yn it produksje- en testproses fan optyske komponinten is it needsaaklik om heechpresyzje posysjonearring en mjitting fan optyske komponinten út te fieren. Bygelyks, by it meitsjen fan heechpresyzje optyske komponinten lykas spegels en lenzen, is it nedich om interferometers en oare apparatuer te brûken om de krektens fan 'e oerflakfoarm te detektearjen. De graniten basis fan 'e ien-as loftdriuwende ultra-presyzje bewegingsmodule kin brûkt wurde as it bewegingsplatfoarm fan 'e interferometer, dy't de sub-mikron posysjonearringskrektens kin realisearje en krekte gegevensstipe kin leverje foar it detektearjen fan optyske komponinten. Derneist is it yn 'e laserferwurkingsapparatuer ek nedich om in heechpresyzje bewegingsplatfoarm te brûken om de scantrajekt fan 'e laserstraal te kontrolearjen, de graniten basis fan 'e loftdriuwende bewegingsmodule kin oan dizze eask foldwaan, om heechpresyzje laserferwurking te berikken.
Pleatsingstiid: 7 april 2025