Granite is in natuerlik foarkommende stien dy't in lange tiid brûkt is yn waferferwurkingsapparatuer.It is bekend om syn treflike eigenskippen fan it hawwen fan lege termyske útwreiding, hege rigidity en goede stabiliteit.Lykwols, lykas alle materialen, granyt hat syn eigen set fan defekten dy't kin beynfloedzje de kwaliteit fan wafer ferwurkjen apparatuer.
Ien fan 'e grutte mankeminten fan graniten is har oanstriid om te barsten of te brekken.Dit komt troch de oanwêzigens fan mikrobarsten dy't foarkomme kinne by de formaasje fan 'e rots.As dizze mikrocracks net goed identifisearre en behannele wurde, kinne se fuortplantsje en liede ta it mislearjen fan 'e apparatuer.Om foar te kommen dat dit bart, moatte fabrikanten fan ferwurkingsapparatuer heechweardich granyt brûke dat is behannele en hifke om te soargjen dat it frij is fan mikrobarsten.
In oar defekt fan graniten is har gefoelichheid foar korrosysje.As graniten apparatuer yn kontakt komt mei korrosive omjouwings, kin it oer de tiid begjinne te degradearjen.Dit kin liede ta dat de apparatuer skansearre wurdt of net goed wurket.Om dit foar te kommen, moatte fabrikanten derfoar soargje dat it granyt dat yn har apparatuer brûkt wurdt goed wurdt behannele en bedekt om korrosje te foarkommen.
Granite is ek gefoelich foar warping yn 'e rin fan' e tiid fanwege syn ynherinte thermyske eigenskippen.Dit komt om't granyt in heul lege koëffisjint fan thermyske útwreiding hat, wat betsjut dat it net folle útwreidet of kontraktearret as it ûnderwurpen wurdt oan feroaringen yn temperatuer.Sels in lyts bedrach fan útwreiding of krimp kin lykwols feroarsaakje yn 'e apparatuer oer de tiid.It is wichtich dat de fabrikant fan apparatuer rekken hâldt mei de termyske eigenskippen fan it granyt by it ûntwerpen fan har apparatuer om te foarkommen dat dit defekt opkomt.
As lêste kin de poreuze natuer fan graniten liede ta problemen mei fersmoarging.As it granyt net goed ôfsletten is, kin it kontaminanten opnimme dy't de kwaliteit fan 'e wafel kinne beynfloedzje.Dit kin liede ta kostbere downtime en ferlerne produksje.Om dit foar te kommen, moatte fabrikanten it graniten goed ôfsegelje om foar te kommen dat alle kontaminanten wurde opnomd.
Ta beslút, granyt is in poerbêst materiaal foar gebrûk yn wafer ferwurkjen apparatuer.It is lykwols wichtich om bewust te wêzen fan har defekten en de nedige foarsoarchsmaatregels te nimmen om te foarkommen dat se foarkomme.Mei goede soarch en ûnderhâld, graniten apparatuer kin bliuwe te funksjonearjen in protte jierren, it bieden fan heechweardige wafers foar de semiconductor yndustry.
Post tiid: Dec-27-2023