Granyt is in natuerlik foarkommende rots dy't al lange tiid brûkt wurdt yn waferferwurkingsapparatuer. It stiet bekend om syn poerbêste eigenskippen fan lege termyske útwreiding, hege styfheid en goede stabiliteit. Lykas alle materialen hat granyt lykwols syn eigen set gebreken dy't de kwaliteit fan waferferwurkingsapparatuer beynfloedzje kinne.
Ien fan 'e wichtichste gebreken fan granyt is syn oanstriid om te barsten of te brekken. Dit komt troch de oanwêzigens fan mikroskeuren dy't kinne ûntstean tidens de foarming fan it rots. As dizze mikroskeuren net goed identifisearre en behannele wurde, kinne se ferspriede en liede ta it falen fan 'e apparatuer. Om dit te foarkommen, moatte fabrikanten fan ferwurkingsapparatuer granyt fan hege kwaliteit brûke dat behannele en hifke is om te soargjen dat it frij is fan mikroskeuren.
In oar neidiel fan granyt is syn gefoelichheid foar korrosje. As granytapparatuer yn kontakt komt mei korrosive omjouwings, kin it mei de tiid begjinne te degradearjen. Dit kin derta liede dat de apparatuer skansearre rekket of net goed funksjonearret. Om dit te foarkommen, moatte fabrikanten derfoar soargje dat it granyt dat yn har apparatuer brûkt wurdt goed behannele en coated wurdt om korrosje te foarkommen.
Granyt is ek gefoelich foar kromming yn 'e rin fan' e tiid fanwegen syn ynherinte termyske eigenskippen. Dit komt om't granyt in heul lege termyske útwreidingskoëffisjint hat, wat betsjut dat it net folle útwreidet of krimpt as it ûnderwurpen wurdt oan temperatuerferoaringen. Sels in lytse hoemannichte útwreiding of krimp kin lykwols yn 'e rin fan' e tiid kromming yn 'e apparatuer feroarsaakje. It is wichtich dat de apparatuerfabrikant rekken hâldt mei de termyske eigenskippen fan it granyt by it ûntwerpen fan har apparatuer om te foarkommen dat dit defekt ûntstiet.
Ta beslút, de poreuze aard fan granyt kin liede ta problemen mei fersmoarging. As it granyt net goed ôfsletten is, kin it fersmoarging opnimme dy't de kwaliteit fan 'e wafer beynfloedzje kinne. Dit kin liede ta kostbere downtime en ferlern produksje. Om dit te foarkommen, moatte fabrikanten it granyt goed ôfslute om te foarkommen dat fersmoarging opnommen wurdt.
Konklúzjend, granyt is in poerbêst materiaal foar gebrûk yn waferferwurkingsapparatuer. It is lykwols wichtich om bewust te wêzen fan syn gebreken en de nedige foarsoarchsmaatregels te nimmen om te foarkommen dat se foarkomme. Mei juste soarch en ûnderhâld kin granytapparatuer noch in protte jierren funksjonearje, wêrtroch't se wafers fan hege kwaliteit leverje foar de healgeleideryndustry.
Pleatsingstiid: 27 desimber 2023