Yn 'e fjilden fan hege-end produksje en baanbrekkend wittenskiplik ûndersyk is in presys statyske druklucht driuwend bewegingsplatfoarm de kaai-apparatuer om ultra-presyzje operaasje te berikken. De graniten presyzjebasis is it kearnstipe-diel fan it platfoarm, en syn prestaasjes binne nau ferbûn mei de wurkomjouwing. It begripen en foldwaan oan dizze miljeu-easken kin net allinich de hege-presyzje operaasje fan it platfoarm garandearje, mar ek in wichtich ûnderdiel fan 'e ûndernimming om syn konkurrinsjefermogen yn relatearre fjilden te ferbetterjen, wat hjirûnder yn detail beskreaun wurdt.
1. Temperatuer: krekte kontrôle om dimensjonele stabiliteit te garandearjen
Hoewol granyt bekend stiet om syn stabiliteit, is syn termyske útwreidingskoëffisjint net nul, en lytse temperatuerferoarings kinne noch altyd ynfloed hawwe op syn dimensjonele krektens. Yn 't algemien is de termyske útwreidingskoëffisjint fan granyt 5-7 × 10⁻⁶/℃. Yn it tapassingsscenario fan in presys statysk druklucht driuwend bewegingsplatfoarm wurdt dizze lytse feroaring fersterke troch it platfoarm, wat kin liede ta in ôfwiking fan 'e bewegingskrektens. Bygelyks, yn it produksjeproses fan healgeleiderchips, it litografyproses foar de easken foar posysjonearringskrektens fan danami-nivo, de fluktuaasje fan 'e omjouwingstemperatuer fan 1 ° C, de sydlingte fan in granytbasis fan 1 meter kin 5-7 mikron lineêre útwreiding of krimp produsearje, wat genôch is om de ôfwiking fan it chiplitografypatroan te meitsjen, de opbringst te ferminderjen. Dêrom moat de ideale wurkomjouwingstemperatuer fan it presys statysk druklucht driuwende platfoarm foarsjoen fan in presys granytbasis strang kontroleare wurde op 20 ° C ± 1 ° C, bedriuwen kinne in hege-presyzje konstante temperatuer airconditioningsysteem ynstallearje, de omjouwingstemperatuer kontinu kontrolearje en sekuer oanpasse, de grutte fan 'e granytbasisstabiliteit behâlde, om te soargjen dat it platfoarm mei hege presyzje wurket.
2. fochtigens: ridlike kontrôle, beskermje de basisprestaasjes
Fochtigens hat ek in wichtige ynfloed op presyzje graniten bases. Yn in omjouwing mei hege fochtigens kin granyt maklik wetterdamp opnimme, en der kin kondensaasje op it oerflak ûntstean, wat net allinich de normale wurking fan it loftflotaasjesysteem sil bemuoie, mar ek liedt ta lange-termyn eroazje fan it graniten oerflak, wêrtroch de krektens en libbensdoer ferminderet. As wy de workshop foar it slypjen fan optyske lenzen as foarbyld nimme, as de fochtigens lange tiid heger is as 60% RH, sil de wetterdamp dy't op it oerflak fan 'e graniten basis adsorbearre wurdt de uniformiteit fan' e loftfloatfilm ferneatigje, wat resulteart yn in fermindering fan 'e krektens fan it slypjen fan lenzen en oerflakdefekten. Dêrom moat de relative fochtigens fan 'e wurkomjouwing tusken 40%-60% RH kontroleare wurde. Bedriuwen kinne luchtûntvochtigers, fochtigenssensors en oare apparatuer brûke om de fochtigens yn realtime te kontrolearjen en te kontrolearjen, in gaadlike fochtigensomjouwing te meitsjen foar de presyzje graniten basis, en de stabile wurking fan it presyzje statyske druk loftfloatbewegingsplatfoarm te garandearjen.
3. skjinens: strikt kontrolearje, eliminearje dieltsje-ynterferinsje
Stofdieltsjes binne de "fijân" fan presyzje statyske druk loft driuwende bewegingsplatfoarm, en dogge grutte skea oan graniten presyzje basis. Sadree't de lytse dieltsjes de gasfilm gat tusken de gas driuwer slider en de graniten basis yngeane, kinne se de uniformiteit fan 'e gasfilm ferneatigje, wriuwing ferheegje, en sels it oerflak fan' e basis krassen, wat de krektens fan 'e platfoarmbeweging serieus beynfloedet. Yn 'e ultra-presyzje ferwurkingsworkshop fan loftfeartûnderdielen, as de stofdieltsjes yn' e loft op 'e graniten basis falle, kin de bewegingstrajekt fan it ferwurkingsark ôfwike, wat de ferwurkingskrektens fan 'e ûnderdielen beynfloedet. Dêrom moat it wurkgebiet tige skjin hâlden wurde en in skjinensstandert fan 10.000 of sels heger berikke. Bedriuwen kinne stofdieltsjes yn 'e loft filterje troch hege effisjinsje loftfilters (HEPA) te ynstallearjen, en fereaskje dat personiel stoffrije klean, skuonhoezen, ensfh. drage, om it stof dat troch minsken brocht wurdt te ferminderjen, en de hege-presyzje wurkomjouwing fan graniten basis en presyzje statyske druk loft driuwende bewegingsplatfoarm te behâlden.
4. Trilling: Effektive isolaasje om in glêde romte te meitsjen
Eksterne trilling sil de presyzje fan it presyzje statyske druklucht driuwende platfoarm serieus bemuoie, hoewol de presyzje graniten basis in bepaalde trillingsdempingskapasiteit hat, mar de hege sterkte trilling kin noch altyd syn bufferlimyt brekke. De trilling dy't ûntstiet troch it ferkear om 'e fabryk en de wurking fan grutte meganyske apparatuer wurdt troch de grûn oerdroegen oan 'e graniten basis, wat de krektens fan 'e platfoarmbeweging bemuoie sil. Yn high-end CMM kin trilling derfoar soargje dat it kontakt tusken de mjitsonde en it te mjitten wurkstik ynstabyl is, wat resulteart yn ôfwiking fan 'e mjitgegevens. Om dit probleem op te lossen, is it nedich om effektive trillingsisolaasjemaatregels te nimmen, lykas it lizzen fan trillingsisolaasjepads yn it ynstallaasjegebiet fan 'e apparatuer, it bouwen fan trillingsisolaasjefûneminten, of it brûken fan in aktyf trillingsisolaasjesysteem om eksterne trilling aktyf te kompensearjen, en in rêstige en stabile wurkomjouwing te meitsjen foar de graniten presyzje basis en it presyzje statyske druklucht driuwende bewegingsplatfoarm.
Foldocht oan de boppesteande miljeu-easken, om de foardielen fan graniten presyzjebasis folslein te benutten yn it presyzje statyske druklucht driuwende bewegingsplatfoarm, om te soargjen dat it platfoarm hege presyzje en hege stabiliteit bewegingskontrôletsjinsten leveret foar ferskate yndustryen. As bedriuwen omtinken kinne jaan oan dizze details yn 'e produksjeomjouwing, sille se de kâns benutte yn presyzjeproduksje, wittenskiplik ûndersyk en oare fjilden, har konkurrinsjefermogen ferbetterje en duorsume ûntwikkeling berikke.
Pleatsingstiid: 10 april 2025