Op it mêd fan healgeleiderproduksje spilet automatyske optyske ynspeksje (AOI) apparatuer in krúsjale rol by it garandearjen fan 'e kwaliteit fan chips. Sels in lytse ferbettering fan 'e deteksjekrektens kin in enoarme transformaasje bringe foar de heule yndustry. De apparatuerbasis, as in kaaikomponint, hat in djipgeande ynfloed op 'e deteksjekrektens. Yn 'e lêste jierren is in revolúsje yn basismaterialen troch de yndustry gien. Granyt, mei syn treflike trillingsûnderdrukkingsprestaasjes, hat stadichoan tradisjonele getten izeren materialen ferfongen en is de nije favoryt wurden fan AOI-ynspeksjeapparatuer. De effisjinsje fan trillingsûnderdrukking is mei 92% tanommen yn ferliking mei getten izer. Hokker technologyske trochbraken en feroarings yn 'e yndustry lizze efter dizze gegevens?
De strange easken foar trilling yn AOI-ynspeksjeapparatuer foar healgeleiders
It produksjeproses fan healgeleiderchips is it nanoskaaltiidrek yngien. Tidens it AOI-ynspeksjeproses kinne sels ekstreem lytse trillingen ôfwikingen feroarsaakje yn 'e ynspeksjeresultaten. De fyn krassen, gatten en oare defekten op it oerflak fan 'e chip binne faak op mikrometer- of sels nanometernivo. De optyske lenzen fan 'e deteksjeapparatuer moatte dizze details mei ekstreem hege presyzje fêstlizze. Elke trilling dy't troch de basis oerdroegen wurdt, sil derfoar soargje dat de lens ferskowt of trilt, wat resulteart yn wazige bylden en dêrmei de krektens fan defektherkenning beynfloedet.
Gietizermaterialen waarden eartiids in soad brûkt yn 'e basis fan AOI-ynspeksjeapparatuer, om't se in bepaalde sterkte en ferwurkingsprestaasjes hawwe, en de kosten relatyf leech binne. Wat trillingsûnderdrukking oanbelanget, hat getten izer lykwols dúdlike tekoartkommingen. De ynterne struktuer fan getten izer befettet in grut oantal grafytplaten, dy't lykweardich binne oan lytse holtes binnenin en de kontinuïteit fan it materiaal fersteure. As de apparatuer wurket en trilling genereart, of fersteurd wurdt troch eksterne miljeutrilling, kin de trillingsenerzjy net effektyf ferswakke wurde yn it getten izer, mar wurdt konstant reflektearre en oerlapt tusken de grafytplaat en de matriks, wat resulteart yn 'e trochgeande fersprieding fan trilling. Relevante eksperiminten litte sjen dat nei't de getten izeren basis oanstutsen is troch eksterne trilling, de trillingsdempingtiid ferskate sekonden kin duorje, wat in serieuze ynfloed sil hawwe op 'e deteksjekrektens yn dizze perioade. Derneist is de elastyske modulus fan getten izer relatyf leech. Under de lange-termyn aksje fan apparatuer syn swiertekrêft en trillingsstress is it gefoelich foar deformaasje, wêrtroch't de trillingsoerdracht fierder fersterke wurdt.
It geheim efter in ferheging fan 92% yn 'e trillingsûnderdrukkingseffisjinsje fan graniten bases
Granyt, as in soarte natuerstien, hat troch geologyske prosessen oer hûnderten miljoenen jierren in ekstreem tichte en unifoarme ynterne struktuer foarme. It is benammen gearstald út minerale kristallen lykas kwarts en feldspaat dy't nau byinoar brocht binne, en de gemyske bannen tusken de kristallen binne sterk en stabyl. Dizze struktuer jout granyt in útsûnderlik fermogen om trillingen te ûnderdrukken. As de trillingen oerdroegen wurde oan 'e granytbasis, kinne de minerale kristallen deryn de trillingsenerzjy fluch omsette yn waarmte-enerzjy en it ferspriede. Undersyk lit sjen dat de demping fan granyt ferskate kearen heger is as dy fan getten izer, wat betsjut dat it trillingsenerzjy effisjinter kin opnimme, wêrtroch't de amplitude en doer fan 'e trillingen fermindere wurde. Nei profesjonele testen, ûnder deselde trillings-eksitaasjeomstannichheden, is de trillingsdempingtiid fan 'e granytbasis mar 8% fan dy fan getten izer, en de effisjinsje fan trillingsûnderdrukking is mei 92% tanommen.
De hege hurdens en hege elastyske modulus fan granyt drage ek signifikant by. De hege hurdens soarget derfoar dat de basis minder kâns hat om te ferfoarmjen by it dragen fan it gewicht fan 'e apparatuer en eksterne krêftynfloeden, en behâldt altyd in stabile stipetastân. De hege elastyske modulus soarget derfoar dat de basis fluch werom kin nei syn oarspronklike foarm as er ûnderwurpen wurdt oan trillingen, wêrtroch't de opgarjen fan trillingen ferminderet. Derneist hat granyt poerbêste termyske stabiliteit en wurdt hast net beynfloede troch feroaringen yn 'e omjouwingstemperatuer, wêrtroch't termyske útwreiding en krimpdeformaasje feroarsake troch temperatuerfluktuaasjes foarkommen wurde, wêrtroch't de stabiliteit fan 'e trillingsûnderdrukkingsprestaasjes fierder garandearre wurde.
Yndustrytransformaasje en perspektiven feroarsake troch graniten bases
De AOI-ynspeksjeapparatuer mei in graniten basis hat de deteksjekrektens signifikant ferbettere. It kin betrouber defekten yn lytsere chips identifisearje, wêrtroch it taryf fan ferkearde ynskatting binnen 1% wurdt fermindere en de opbringst fan 'e chipproduksje sterk ferbettere wurdt. Underwilens is de stabiliteit fan 'e apparatuer ferbettere, wêrtroch it oantal stilfallen foar ûnderhâld feroarsake troch trillingsproblemen wurdt fermindere, de libbensdoer fan 'e apparatuer wurdt ferlingd en de totale eksploitaasjekosten wurde ferlege.
Pleatsingstiid: 14 maaie 2025