Op it mêd fan healgeleiderproduksje bepaalt de krektens fan waferynspeksjeapparatuer direkt de kwaliteit en opbringst fan chips. As de basis dy't de kearndeteksjekomponinten stipet, spilet de dimensjonele stabiliteit fan it basismateriaal fan 'e apparatuer in krúsjale rol yn 'e lange-termyn operasjonele prestaasjes fan' e apparatuer. Granyt en getten izer binne twa faak brûkte basismaterialen foar waferynspeksjeapparatuer. In ferlykjende stúdzje fan 10 jier hat de wichtige ferskillen tusken har oan it ljocht brocht op it mêd fan dimensjonele stabiliteit, wat wichtige referinsjes leveret foar it selektearjen fan apparatuer.
Eksperimintele eftergrûn en ûntwerp
It produksjeproses fan healgeleiderwafers stelt ekstreem hege easken foar deteksjekrektens. Sels in dimensjonele ôfwiking op mikrometernivo kin liede ta in fermindering fan chipprestaasjes of sels sloop. Om de dimensjonele stabiliteit fan granyt en getten izer by lang gebrûk te ûndersiikjen, ûntwurp it ûndersyksteam eksperiminten dy't echte wurkomjouwings simulearren. Granyt- en getten izeren samples fan deselde spesifikaasje waarden selektearre en pleatst yn in miljeukeamer dêr't de temperatuer fluktuearre fan 15 ℃ oant 35 ℃ en de fochtigens fluktuearre fan 30% oant 70% RV. De meganyske trilling tidens de wurking fan 'e apparatuer waard simulearre troch in trillingstafel. De wichtichste dimensjes fan 'e samples waarden elk kwartaal metten mei in hege-presyzje laserinterferometer, en de gegevens waarden 10 jier lang kontinu registrearre.
Eksperiminteel resultaat: It absolute foardiel fan granyt
Tsien jier eksperimintele gegevens litte sjen dat it granytsubstraat in ferrassende stabiliteit sjen lit. De termyske útwreidingskoëffisjint is ekstreem leech, mei in gemiddelde fan mar 4,6 × 10⁻⁶/℃. Under drastyske temperatuerferoarings wurdt de dimensjonele ôfwiking altyd kontroleare binnen ± 0,001 mm. By fochtigensferoarings makket de tichte struktuer fan granyt it hast net beynfloede, en komme der gjin mjitbere dimensjonele feroarings foar. Yn in meganyske trillingsomjouwing absorbearje de poerbêste dempingseigenskippen fan granyt effektyf trillingsenerzjy, en de dimensjonele fluktuaasje is ekstreem lyts.
Yn tsjinstelling, foar it getten izeren substraat berikt de gemiddelde termyske útwreidingskoëffisjint 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃, en de maksimale dimensjonale ôfwiking feroarsake troch temperatuerferoarings binnen 10 jier is ± 0,05 mm. Yn in fochtige omjouwing is getten izer gefoelich foar roest en korrosje. Guon samples litte lokale deformaasje sjen, en de dimensjonale ôfwiking nimt fierder ta. Under de ynfloed fan meganyske trilling hat getten izer minne trillingsdempingsprestaasjes en syn grutte fluktuearret faak, wêrtroch it lestich is om te foldwaan oan de hege presyzje-easken fan waferynspeksje.
De essensjele reden foar it ferskil yn stabiliteit
Granyt is oer hûnderten miljoenen jierren foarme troch geologyske prosessen. De ynterne struktuer is ticht en unifoarm, en de minerale kristallen binne stabyl ynrjochte, wêrtroch't ynterne spanning fan natuere eliminearre wurdt. Dit makket it ekstreem ûngefoelich foar feroaringen yn eksterne faktoaren lykas temperatuer, fochtigens en trilling. Gietizer wurdt makke troch in gietproses en hat mikroskopyske defekten lykas poaren en sângatten binnenyn. Underwilens is de oerbleaune spanning dy't ûntstiet tidens it gietproses gefoelich foar dimensjonele feroaringen ûnder stimulearring fan 'e eksterne omjouwing. De metallyske eigenskippen fan getten izer meitsje it gefoelich foar roest troch fochtigens, wêrtroch strukturele skea fersnelt en dimensjonele stabiliteit ferminderet.
De ynfloed op waferynspeksjeapparatuer
Wafer-ynspeksjeapparatuer basearre op granytsubstraat, mei syn stabile dimensjonele prestaasjes, kin derfoar soargje dat it ynspeksjesysteem in hege presyzje foar in lange tiid behâldt, ferkearde ynskatting en miste deteksje feroarsake troch drift fan 'e krektens fan apparatuer ferminderje, en de produktopbringst signifikant ferbetterje. Tagelyk ferminderje de lege ûnderhâldseasken de folsleine libbensduurkosten fan 'e apparatuer. Apparatuer mei getten izeren substraten fereasket, fanwegen minne dimensjonele stabiliteit, faak kalibraasje en ûnderhâld. Dit fergruttet net allinich de eksploitaasjekosten, mar kin ek ynfloed hawwe op 'e kwaliteit fan' e produksje fan healgeleiders fanwegen ûnfoldwaande presyzje, wêrtroch potinsjele ekonomyske ferliezen ûntsteane.
Under de trend fan 'e stribjen fan' e healgeleideryndustry nei hegere presyzje en bettere kwaliteit, is it kiezen fan granyt as basismateriaal foar waferynspeksjeapparatuer sûnder mis in wize stap om apparatuerprestaasjes te garandearjen en de konkurrinsjefermogen fan bedriuwen te ferbetterjen.
Pleatsingstiid: 14 maaie 2025