Granyt is in faak brûkt materiaal yn 'e healgeleideryndustry fanwegen syn poerbêste meganyske eigenskippen, termyske stabiliteit en lege termyske útwreidingskoëffisjint. Mei de hieltyd tanimmende fraach nei hegere presyzje en produktiviteit binne alternative materialen lykwols ûntstien as libbensfetbere opsjes foar de fabrikaazje fan ûnderdielen foar healgeleiderapparatuer. Yn dit artikel sille wy guon fan 'e alternative materialen foar granytûnderdielen yn healgeleiderapparatuer ûndersykje en har foar- en neidielen fergelykje.
Alternative materialen foar graniten ûnderdielen
1. Glês-keramyske materialen
Glêskeramyske materialen, lykas Zerodur en Cervit, hawwe in soad gebrûk krigen yn 'e healgeleideryndustry fanwegen har lege termyske útwreidingskoëffisjint, dy't ticht by dy fan silisium leit. Dêrtroch kinne dizze materialen bettere termyske stabiliteit en ferbettere presyzje leverje yn it proses fan it meitsjen fan healgeleiders. Benammen Zerodur hat in hege mjitte fan homogeniteit en stabiliteit, wêrtroch it geskikt is foar de produksje fan litografyapparatuer.
Foardielen:
- Lege koëffisjint fan termyske útwreiding
- Hege presyzje en stabiliteit
- Geskikt foar tapassingen mei hege temperatueren
Neidielen:
- Hegere kosten yn ferliking mei granyt
- Relatyf bros, kin útdagings opleverje by it ferwurkjen en behanneljen
2. Keramyk
Keramyske materialen, lykas aluminiumokside (Al2O3), silisiumkarbid (SiC) en silisiumnitride (Si3N4), hawwe poerbêste meganyske eigenskippen, hege temperatuerresistinsje en in lege termyske útwreidingskoëffisjint. Dizze eigenskippen meitsje keramyk ideaal foar ûnderdielen fan healgeleiderapparatuer dy't hege termyske stabiliteit en presyzje fereaskje, lykas waferstages en chucks.
Foardielen:
- Hege termyske stabiliteit en sterkte
- Lege termyske útwreidingskoëffisjint
- Hege wearbestindigens en gemyske inertheid
Neidielen:
- Kin bros wêze en gefoelich foar barsten, foaral by ferwurking en ôfhanneling
- It bewurkjen en polearjen fan keramyk kin útdaagjend en tiidslinend wêze
3. Metalen
Metaalbasearre materialen, lykas roestfrij stiel en titanium, binne brûkt foar guon ûnderdielen fan healgeleiderapparatuer fanwegen har poerbêste ferwurkberens en hege sterkte. Se wurde faak brûkt yn tapassingen wêr't hege termyske stabiliteit net fereaske is, lykas keamerûnderdielen, koppelingen en trochfieringen.
Foardielen:
- Goede ferwurkberens en lasberens
- Hege sterkte en duktyliteit
- Lege kosten yn ferliking mei guon fan 'e alternative materialen
Neidielen:
- Hege termyske útwreidingskoëffisjint
- Net geskikt foar tapassingen mei hege temperatuer fanwegen problemen mei termyske útwreiding
- Gefoelich foar korrosje en fersmoarging
Konklúzje:
Gearfetsjend, wylst granyt in populêre kar west hat foar ûnderdielen fan healgeleiderapparatuer, binne alternative materialen ûntstien, elk mei unike foar- en neidielen. Glêskeramyske materialen binne tige presys en stabyl, mar kinne bros wêze. Keramyk is sterk en hat poerbêste termyske stabiliteit, mar kin ek bros wêze, wêrtroch't se dreger te meitsjen binne. Metalen binne goedkeap, ferwurkber en duktyl, mar se hawwe in hegere koëffisjint fan termyske útwreiding en binne gefoelich foar korrosje en fersmoarging. By it selektearjen fan materialen foar healgeleiderapparatuer is it krúsjaal om de spesifike easken fan 'e tapassing te beskôgjen en materialen te selektearjen dy't kosten, prestaasjes en betrouberens yn lykwicht bringe.
Pleatsingstiid: 19 maart 2024