Op it mêd fan healgeleiderproduksje hat de skjinens fan 'e skjinne keameromjouwing direkt ynfloed op 'e opbringst fan waferproduksje en de prestaasjes fan chips. De TOP 5 waferfabrikaazjefabriken fan 'e wrâld hawwe allegear tradisjonele getten izeren materialen útfasearre en oerstapt op graniten platfoarms. Efter dizze transformaasje leit it ultime stribjen nei in nul-fersmoargingsomjouwing yn skjinne keamers. Graniten platfoarms, mei har eigen skaaimerken, hawwe ongeëvenaarde foardielen sjen litten yn skjinne keamers en binne de nije favoryt wurden fan waferfabrikaazjefabriken.
It "fatale defekt" fan getten izeren materialen yn skjinne keamers
Gietijzer, as in tradisjoneel yndustrieel materiaal, hie eartiids bepaalde foardielen yn meganyske eigenskippen, mar it hat in protte problemen yn 'e skjinne keameromjouwing fan healgeleiders. Earst is de oerflakmikrostruktuer fan gettenijzer net ticht, mei in grut oantal poaren en lytse barsten dy't ûnsichtber binne foar it bleate each. Tidens de deistige operaasje fan skjinne keamers binne dizze poaren tige gefoelich foar it adsorbearjen fan stof, oaljeflekken en ferskate gemyske fersmoarging, wêrtroch't se skûlplakken wurde foar fersmoargingsboarnen. Sadree't fersmoarging ophoopt, kinne se tidens de krekte operaasjes fan waferproduksje ôffalle en oan it oerflak fan 'e wafer hechtsje, wêrtroch serieuze kwaliteitsproblemen ûntsteane lykas koartslutingen en iepen circuits yn 'e chip.
Twadder hat getten izer in relatyf minne gemyske stabiliteit. Tidens it produksjeproses fan wafers wurde ferskate korrosive gemyske reagentia lykas wetterstoffluoride en swevelsoer brûkt. Getten izer is gefoelich foar oksidaasje- en korrosjereaksjes ûnder de eroazje fan dizze gemyske stoffen. De roest en metaalioanen dy't troch korrosje produsearre wurde, fersmoargje net allinich de skjinne keameromjouwing, mar kinne ek gemyske reaksjes ûndergean mei de materialen op it waferoerflak, wêrtroch't de fysike en gemyske eigenskippen fan 'e wafers beskeadige wurde en de produktopbringst signifikant ferminderet.
De "nul-fersmoarging" funksje fan graniten platfoarms
De reden wêrom't graniten platfoarms favorisearre wurde troch de TOP 5 waferfabrikaazjefabriken fan 'e wrâld leit yn har ynherinte "nul-fersmoarging" funksje. Granyt is in natuerlike stien dy't foarme is troch geologyske prosessen oer hûnderten miljoenen jierren. De ynterne minerale kristallen binne nau kristallisearre, de struktuer is ticht en unifoarm, en d'r binne hast gjin poaren op it oerflak. Dizze unike struktuer soarget derfoar dat it gjin stof en fersmoarging adsorbearret. Sels by de faak fersteuringen fan 'e loftstream en personiel- en apparatueraktiviteiten yn 'e skjinne keamer kin it oerflak fan it graniten platfoarm noch skjin bliuwe, wêrtroch't de kweek en fersprieding fan fersmoarging foarkommen wurdt.
Wat gemyske stabiliteit oanbelanget, prestearret granyt útsûnderlik goed. De wichtichste komponinten binne mineralen lykas kwarts en feldspaat. It hat ekstreem stabile gemyske eigenskippen en reagearret amper mei gewoane gemyske reagentia. Yn 'e komplekse gemyske omjouwing fan waferproduksje kinne granytplatfoarms de eroazje fan ferskate korrosive reagentia mei gemak behannelje, sûnder korrosjeprodukten of metaalionfersmoarging te generearjen, wêrtroch't in feilich en skjin basisplatfoarm foar waferproduksje ûntstiet. Underwilens is granyt net-geleidend en genereart it gjin statyske elektrisiteit, wêrtroch it risiko fan fersmoarging feroarsake troch statyske elektrisiteit dy't stofdieltsjes adsorbearret foarkomt en de miljeukwaliteit fan 'e skjinne keamer fierder garandearre wurdt.
Materiaalseleksje út it perspektyf fan kosten en foardiel
Hoewol't de earste oanskafkosten fan graniten platfoarms relatyf heger binne as dy fan getten izeren, binne de wiidweidige foardielen dy't se op 'e lange termyn bringe folle grutter as it ferskil yn kosten. It faak skjinmeitsjen en ûnderhâlden fan getten izeren platfoarms fanwegen fersmoargingsproblemen, lykas de enoarme ferliezen feroarsake troch de tanimming fan produktdefektsifers, hawwe de totale produksjekosten heech hâlden. It graniten platfoarm, mei syn foardiel fan nul fersmoarging, ferminderet de frekwinsje fan skjinmeitsjen en ûnderhâld yn 'e skjinne keamer en it defektsifer fan produkten signifikant, ferleget de eksploitaasjekosten en ferbetteret de produksjeeffisjinsje en produktkwaliteit. Nim in fabryk mei in jierlikse produksjekapasiteit fan ien miljoen wafers as foarbyld. Nei it oannimmen fan graniten platfoarms kin it ferliezen feroarsake troch fersmoarging mei mear as tsien miljoen yuan per jier ferminderje, en it rendemint op ynvestearring is tige oansjenlik.
De TOP 5 wrâldwide waferfabriken hawwe getten izer ferlitten en keazen foar graniten platfoarms op basis fan in wiidweidige beskôging fan 'e easken foar skjinne keameromjouwings en produksjeeffisjinsje. It foardiel fan nul fersmoarging fan graniten platfoarms biedt in betroubere garânsje foar waferproduksje en driuwt de produksje fan healgeleiders nei hegere presyzje en hegere opbringstsifers. Mei de trochgeande ûntwikkeling fan healgeleidertechnology sille graniten platfoarms grif in wichtiger rol spylje yn 'e takomstige waferproduksje.
Pleatsingstiid: 14 maaie 2025