♦Alumina (Al2O3)
De presyzje keramyske ûnderdielen produsearre troch ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kinne makke wurde fan keramyske grûnstoffen mei hege suverens, 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, en CIP kâld isostatysk parsen. Sinterjen op hege temperatuer en presyzjebewerking, dimensjonele krektens fan ± 0,001 mm, glêdens oant Ra0.1, gebrûkstemperatuer oant 1600 graden. Ferskillende kleuren keramyk kinne makke wurde neffens de easken fan klanten, lykas: swart, wyt, beige, donkerread, ensfh. De presyzje keramyske ûnderdielen produsearre troch ús bedriuw binne resistint tsjin hege temperatuer, korrosje, slijtage en isolaasje, en kinne lange tiid brûkt wurde yn hege temperatuer, fakuüm en korrosive gasomjouwings.
Breed brûkt yn in ferskaat oan produksjeapparatuer foar healgeleiders: frames (keramyske beugel), substraat (basis), earm/brêge (manipulator), meganyske komponinten en keramyske loftlagers.
| Produktnamme | Hege suverens 99 aluminiumoxide keramyske fjouwerkante buis / piip / stêf | |||||
| Yndeks | Ienheid | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Dichtheid | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Wetteropname | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Sinterde temperatuer | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Hurdens | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Bûgingssterkte (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kompresjesterkte | Kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Lange tiid wurktemperatuer | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks. wurktemperatuer | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Folume-resistinsje | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Tapassing fan hege suverens aluminiumoxide keramyk:
1. Tapast op healgeleiderapparatuer: keramyske fakuümchuck, snijskiif, skjinmeitsskiif, keramyske CHUCK.
2. Wafer-oerdrachtûnderdielen: wafer-ôfhannelingsplaten, wafer-snijskiven, wafer-reinigingsskiven, optyske ynspeksje-sûchnappen foar wafers.
3. LED / LCD flatscreen-displayyndustry: keramyske nozzle, keramyske slypskiif, LIFT PIN, PIN-rail.
4. Optyske kommunikaasje, sinne-yndustry: keramyske buizen, keramyske stangen, printplaat skermprintsjen keramyske skrapers.
5. Hittebestindige en elektrysk isolearjende ûnderdielen: keramyske lagers.
Op it stuit kin aluminiumokside-keramyk wurde ferdield yn hege suverens en gewoane keramyk. De hege suverens aluminiumokside-keramyk-searje ferwiist nei it keramykmateriaal dat mear as 99,9% Al₂O₃ befettet. Fanwegen syn sintertemperatuer oant 1650 - 1990 °C en syn transmissiegolflingte fan 1 ~ 6 μm, wurdt it meastentiids ferwurke ta fusearre glês ynstee fan platinakroes: dat kin brûkt wurde as natriumbuis fanwegen syn ljochttransmittânsje en korrosjebestriding tsjin alkalimetaal. Yn 'e elektroanika-yndustry kin it brûkt wurde as it hege-frekwinsje isolearjende materiaal foar IC-substraten. Neffens ferskillende ynhâlden fan aluminiumokside kin de gewoane aluminiumokside-keramyk-searje wurde ferdield yn 99 keramyk, 95 keramyk, 90 keramyk en 85 keramyk. Soms wurdt de keramyk mei 80% of 75% aluminiumokside ek klassifisearre as gewoane aluminiumokside-keramyk-searje. Under harren wurdt 99 aluminiumoxide keramyk materiaal brûkt om hege-temperatuer kroes, brânbestindige ovenbuizen en spesjale slijtvaste materialen te produsearjen, lykas keramyske lagers, keramyske sealen en fentylplaten. 95 aluminiumkeramyk wurdt benammen brûkt as korrosjebestindich slijtvast ûnderdiel. 85 keramyk wurdt faak mingd yn bepaalde eigenskippen, wêrtroch elektryske prestaasjes en meganyske sterkte ferbettere wurde. It kin molybdeen, niobium, tantaal en oare metalen sealen brûke, en guon wurde brûkt as elektryske fakuümapparaten.
| Kwaliteitsartikel (Representative wearde) | Produktnamme | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Gemyske gearstalling Leech-natrium Maklik sinterjend produkt | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0� | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0� | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Middelgrutte dieltsjediameter (MT-3300, laseranalysemetoade) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Kristalgrutte | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Foarmingstichtens** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sinterdichtheid** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Krimpsnelheid fan sinterline** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO is net meiteld yn 'e berekkening fan 'e suverens fan Al₂O₃.
* Gjin skalearpoeier 29.4MPa (300kg/cm²), sintertemperatuer is 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Foegje 0.05 ~ 0.1% MgO ta, de sinterberens is poerbêst, dus it is fan tapassing op aluminiumoxide-keramyk mei in suverens fan mear as 99%.
AES-22S: Karakterisearre troch hege foarmtichtens en lege krimpsnelheid fan sinterline, it is fan tapassing op slipfoarmgieten en oare grutskalige produkten mei fereaske dimensjonele krektens.
AES-23 / AES-31-03: It hat in hegere foarmtichtens, tiksotropie en in legere viskositeit as AES-22S. De earste wurdt brûkt foar keramyk, wylst de lêste brûkt wurdt as wetterreduksjemiddel foar brânbestindige materialen, en wint oan populariteit.
♦Siliciumkarbid (SiC) skaaimerken
| Algemiene skaaimerken | Suverens fan haadkomponinten (wt%) | 97 | |
| Kleur | Swart | ||
| Dichtheid (g/cm³) | 3.1 | ||
| Wetteropname (%) | 0 | ||
| Mechanyske skaaimerken | Bûgingssterkte (MPa) | 400 | |
| Jonge modulus (GPa) | 400 | ||
| Vickers-hurdens (GPa) | 20 | ||
| Termyske skaaimerken | Maksimale wurktemperatuer (°C) | 1600 | |
| Termyske útwreidingskoëffisjint | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
| Termyske geliedingsfermogen (W/m x K) | 130 110 | ||
| Termyske skokbestindichheid ΔT (°C) | 300 | ||
| Elektryske skaaimerken | Folume-resistinsje | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Diëlektryske konstante | 10GHz | - | |
| Diëlektrysk ferlies (x 10-4) | - | ||
| Q-faktor (x 104) | - | ||
| Diëlektryske trochbraakspanning (KV/mm) | - | ||
♦Siliciumnitride Keramyk
| Materiaal | Ienheid | Si₃N℄ |
| Sintermetoade | - | Gasdruk Sintered |
| Dichtheid | g/cm³ | 3.22 |
| Kleur | - | Donkergriis |
| Wetterabsorptionssnelheid | % | 0 |
| Jonge Modulus | Gpa | 290 |
| Vickers-hurdens | Gpa | 18 - 20 |
| Kompresjesterkte | Mpa | 2200 |
| Bûgingssterkte | Mpa | 650 |
| Termyske geliedingsfermogen | W/mK | 25 |
| Termyske skokbestindich | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Maksimale wurktemperatuer | °C | 1200 |
| Folume-resistinsje | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Diëlektryske konstante | - | 8.2 |
| Diëlektryske sterkte | kV/mm | 16 |