Graniten loftlagersystemen wurde breed brûkt ynultra-presyzjebewegingsplatfoarms foar healgeleiderproduksje, optyske útrjochting en metrology op nanometerskaal.
Dizze systemen eliminearje meganysk kontakt troch in tinne film ûnder druk te brûken, wêrtroch't beweging mei hast nul wriuwing berikt wurdt.
Prinsipe fan loftbearing
Loftlagers wurkje troch it ynfieren fan komprimearre lucht tusken twa oerflakken, wêrtroch in luchtfilm fan 2-20 μm ûntstiet.
Dit elimineert:
- Mechanyske wriuwing
- Drage
- Stick-slip gedrach
It systeem is ôfhinklik fan floeistoffilmdynamika en stabile laminêre stream.
Rol fan granyt
Granite biedt:
- Strukturele stabiliteit
- Termyske driftûnderdrukking
- Trillingsdemping
It tsjinnet as de meganyske referinsjebasis foar it bewegingssysteem.
Systeemkomponinten
- Graniten basis
- Loftlagerblokken
- Loftfoarsjenningssysteem
- Presyzje-encoders
- Bewegingskontrôlesysteem
Prestaasjekarakteristiken
Typyske prestaasjes omfetsje:
- Sub-mikron posysjonearringsnauwkeurigens
- Hege rjochtheid oer lange reizen
- Nul meganyske backlash
Wichtige flaterboarnen omfetsje loftdrukynstabiliteit, termyske drift en encoderflater.
Applikaasjes
- Ynspeksje fan healgeleiderwafers
- Litografysystemen
- Optyske útrjochtingsplatfoarms
- Heechweardige metrologymasines
FAQ
Slijte loftlagers?
Gjin meganysk kontakt elimineert slijtage.
Wêrom granyt brûke?
Foar stabiliteit en trillingsdemping.
Wat beheint de krektens?
Loftstabiliteit en termyske effekten.
Kinne se swiere lasten drage?
Ja, ôfhinklik fan it ûntwerp.
Pleatsingstiid: 3 july 2026