Granitenkomponinten binne in soad brûkt yn it produksjeproses fan healgeleiders fanwegen har poerbêste skaaimerken lykas superieure oerflakteôfwerking, hege stivens en poerbêste trillingsdemping. Granitenkomponinten binne essensjeel foar apparatuer foar it meitsjen fan healgeleiders, ynklusyf litografymasines, polijstmasines en metrologysystemen, om't se presys posysjonearring en stabiliteit leverje tidens it produksjeproses. Nettsjinsteande alle foardielen fan it brûken fan granitenkomponinten, hawwe se ek gebreken. Yn dit artikel sille wy de gebreken fan granitenkomponinten foar produkten yn it produksjeproses fan healgeleiders beprate.
Earst hawwe graniten ûnderdielen in hege termyske útwreidingskoëffisjint. Dat betsjut dat se flink útwreidzje ûnder termyske stress, wat problemen feroarsaakje kin tidens it produksjeproses. It produksjeproses fan healgeleiders fereasket hege presyzje en dimensjonele krektens dy't yn gefaar komme kinne troch termyske stress. Bygelyks, silisiumwaferdeformaasje troch termyske útwreiding kin problemen mei útrjochting feroarsaakje tidens litografy, wat de kwaliteit fan it healgeleiderapparaat yn gefaar bringe kin.
Twadder hawwe granitenkomponinten porositeitsdefekten dy't fakuümlekken kinne feroarsaakje yn it produksjeproses fan healgeleiders. De oanwêzigens fan loft of in oar gas yn it systeem kin fersmoarging feroarsaakje op it oerflak fan 'e wafer, wat resulteart yn defekten dy't de prestaasjes fan it healgeleiderapparaat kinne beynfloedzje. Inerte gassen lykas argon en helium kinne yn poreuze granitenkomponinten sipelje en gasbellen meitsje dy't de yntegriteit fan it fakuümproses kinne bemuoie.
Tredde, granytkomponinten hawwe mikrofraktueren dy't de presyzje fan it produksjeproses kinne bemuoie. Granyt is in bros materiaal dat yn 'e rin fan' e tiid mikrofraktueren ûntwikkelje kin, foaral as it bleatsteld wurdt oan konstante stresssyklusen. De oanwêzigens fan mikrofraktueren kin liede ta dimensjonele ynstabiliteit, wêrtroch wichtige problemen ûntsteane tidens it produksjeproses, lykas litografy-útrjochting of waferpolijsting.
Fjirder, graniten komponinten hawwe beheinde fleksibiliteit. It produksjeproses fan healgeleiders fereasket fleksibele apparatuer dy't ferskate prosesferoarings kin akkommodearje. Graniten komponinten binne lykwols stiif en kinne har net oanpasse oan ferskate prosesferoarings. Dêrom fereaskje alle feroarings yn it produksjeproses it fuortheljen of ferfangen fan 'e graniten komponinten, wat liedt ta downtime en ynfloed hat op 'e produktiviteit.
Fiifdens, graniten ûnderdielen fereaskje spesjale ôfhanneling en ferfier fanwegen har gewicht en kwetsberens. Granyt is in ticht en swier materiaal dat spesjalisearre ôfhannelingsapparatuer fereasket lykas kranen en liften. Derneist fereaskje graniten ûnderdielen soarchfâldige ynpakking en ferfier om skea by ferstjoering te foarkommen, wat liedt ta ekstra kosten en tiid.
Konklúzjend hawwe granitenkomponinten guon neidielen dy't de kwaliteit en produktiviteit fan healgeleiderproduksjeprosessen beynfloedzje kinne. Dizze defekten kinne minimalisearre wurde troch soarchfâldige ôfhanneling en ûnderhâld fan granitenkomponinten, ynklusyf periodike ynspeksje op mikrofraktueren en porositeitsdefekten, juste skjinmeitsjen om fersmoarging te foarkommen, en soarchfâldige ôfhanneling tidens transport. Nettsjinsteande de defekten bliuwe granitenkomponinten in essinsjeel ûnderdiel fan it healgeleiderproduksjeproses fanwegen har superieure oerflakteôfwerking, hege stivens en poerbêste trillingsdemping.
Pleatsingstiid: 5 desimber 2023