Granite-komponinten binne breed brûkt yn 'e Semiconductor-produksjeproduksje fanwege har treflike skaaimerken lykas superior oerflak einigje, hege stivens, en poerbêste vibraasje damping. Granite-komponinten binne essensjeel foar semiconductor-fabrikaazje, ynklusyf litografyske masines, polearjen masines, en metrysystemen leverje as se foarôfgeand oan it produsearjen fan it produsearjen. Nettsjinsteande alle foardielen fan it brûken fan granite-komponinten, hawwe se ek defekten. Yn dit artikel sille wy de defekten beprate fan granite-komponinten foar Semiconductor-fabrikaazjeproduktenprodukten.
Earst hawwe Granite-komponinten in hege thermyske útwreidingskoeffisjint. It betsjuttet dat se wieten wreidzje ûnder thermyske stress, dy't problemen kinne feroarsaakje by it fabrikaazjeproses. It foardielen fan semicondor-fabrikaazje fereasket hege presys en dimensjele krektens dy't koe wurde kompromitteare fanwege thermyske stress. Bygelyks sil Silicon Wafer Deformation fanwege Thermale útwreiding fan Thermal-útnoegingsferoaring feroarsaakje yn litografy, dy't de kwaliteit kin kompromitte.
Twadde, granite-komponinten hawwe porositeitde tekoarten dy't gjin fakuumlekken kinne feroarsaakje yn it gefoel fan semicondor. De oanwêzigens fan loft as in oar gas yn it systeem koe besmetting feroarsaakje op it oerflak fan 'e wafel, wat resulteart yn defekten dy't de prestaasjes fan it sementuctor-apparaat kinne beynfloedzje. Inert gassen lykas Argon en Helium koene yn 'e poreuze granite-komponinten sjen en gasbellen meitsje dy't problemen kinne ynteressearje mei de yntegriteit fan' e fakuümproses.
Tredde, Granite-komponinten hawwe mikrofraktueren dy't de krektens fan 'e fabrikaazjeproses kinne ynterferearje. Granite is in broslik materiaal dat mikrofraktueren oer de tiid koe ûntwikkelje, fral as bleatsteld oan konstante stressyklussen. De oanwêzigens fan mikrofrakturen koene liede ta dimensjonele instabiliteit, wêrtroch wichtige problemen feroarsaakje tidens it fabrikaazjeproses, lykas litografy-ôfstimming as wafelplysje.
Fjirde hawwe Granite-komponinten beheinde fleksibiliteit. It proses fan Semiconductor-fabrikaazje fereasket fleksibele apparatuer dy't ferskate prosesferoaringen kin foldwaan. GRANITE-komponinten binne lykwols rigid en kin net oanpasse oan ferskate prosesferoaringen. Dêrom fereasket elke wizigingen yn 'e fabrikaazjeproses de ferwidering of ferfanging fan' e granite-komponinten, dy't liede ta downtime en ynfloed op produktiviteit.
Fyfde, Granite-komponinten hawwe spesjaal ôfhanneling en ferfier nedich fanwege har gewicht en fragiliteit. Granite is in ticht en swier materiaal dat spesjaliseare behannelingapparatuer fereasket lykas Kranen en lifters. Derneist fereaskje GRANITE-komponinten foarsichtich ynpakke en ferfier om skea te foarkommen by ferstjoering, liede ta ekstra kosten en tiid.
Ta beslút hawwe GRANITE-komponinten wat kosten dy't kinne beynfloedzje fan semiconductor-fabrikaazjeproduksjeprodukten 'kwaliteit en produktiviteit. Dizze defekten kinne wurde minimeare troch soarchfâldige ôfhanneling en ûnderhâld fan granitenpompeksje, ynklusyf periodike ynspeksje foar mikrofoanflakken en poramy-skjinmeitsjen om fersmoarging te foarkommen om tidens ferfier te foarkommen. Nettsjinsteande de defekten bliuwe granite-komponinten in fitale diel fan it foardielen fan 'e semiconductor-produksje fanwegen har superieur oerflakfinish, hege stivens, en poerbêste vibraasje damping.
Posttiid: DEC-05-2023