Graniten ûnderdielen binne in soad brûkt yn de semiconductor manufacturing proses fanwege harren treflike skaaimerken lykas superieure oerflak finish, hege stivens, en poerbêst trilling damping.Granitenkomponinten binne essensjeel foar apparatuer foar fabrikaazje fan healgelearden, ynklusyf litografysmasines, polystmasines, en metrologysystemen, om't se presys posysje en stabiliteit leverje tidens it fabrikaazjeproses.Nettsjinsteande alle foardielen fan it brûken fan graniten komponinten, se hawwe ek gebreken.Yn dit artikel sille wy de defekten besprekke fan granitenkomponinten foar produkten foar produksjeproses foar semiconductor.
Earst hawwe granitenkomponinten in hege termyske útwreidingskoëffisjint.It betsjut dat se signifikant útwreidzje ûnder termyske stress, wat problemen kinne feroarsaakje tidens it fabrikaazjeproses.It fabrikaazjeproses fan healgelearden fereasket hege presyzje en diminsjonele krektens dy't koe wurde kompromittearre troch termyske stress.Bygelyks, deformaasje fan silisium wafel fanwege termyske útwreiding koe ôfstimmingsproblemen feroarsaakje tidens litografy, wat de kwaliteit fan it halfgeleiderapparaat kin kompromittearje.
Twad, graniten komponinten hawwe porosity defekten dy't koe feroarsaakje fakuüm lekken yn de semiconductor manufacturing proses.De oanwêzigens fan lucht of in oar gas yn it systeem kin fersmoarging feroarsaakje op it oerflak fan 'e wafel, wat resulteart yn defekten dy't de prestaasjes fan' e semiconductor-apparaat kinne beynfloedzje.Inerte gassen lykas argon en helium koene yn poreuze granitenkomponinten sûpe en gasbellen meitsje dy't de yntegriteit fan it fakuümproses kinne bemuoie.
Tredde, graniten komponinten hawwe mikrofraktueren dy't kinne ynterferearje mei de krektens fan it produksjeproses.Granite is in bros materiaal dat kin ûntwikkelje microfractures oer tiid, benammen as bleatsteld oan konstante stress syklus.De oanwêzigens fan mikrofraktueren kin liede ta dimensjeel ynstabiliteit, wêrtroch wichtige problemen feroarsaakje tidens it fabrikaazjeproses, lykas litografyske ôfstimming of wafelpolijst.
Fjirde, graniten komponinten hawwe beheinde fleksibiliteit.It fabrikaazjeproses fan healgelearden fereasket fleksibele apparatuer dy't ferskate prosesferoarings kin passe.Granitenkomponinten binne lykwols stiif en kinne net oanpasse oan ferskate prosesferoarings.Dêrom fereasket alle feroaringen yn it produksjeproses de ferwidering of ferfanging fan 'e granitenkomponinten, wat liedt ta downtime en beynfloedzje de produktiviteit.
Fyfde, graniten ûnderdielen easkje spesjale ôfhanneling en ferfier fanwege harren gewicht en fragility.Granite is in ticht en swier materiaal dat spesjalisearre ôfhanneling apparatuer fereasket lykas kranen en lifters.Derneist fereaskje granitenkomponinten foarsichtich ynpakken en ferfier om skea tidens ferstjoeren te foarkommen, wat liedt ta ekstra kosten en tiid.
Ta beslút, graniten komponinten hawwe wat neidielen dy't koe beynfloedzje de kwaliteit en produktiviteit fan semiconductor manufacturing proses produkten.Dizze mankeminten koene wurde minimalisearre troch soarchfâldige ôfhanneling en ûnderhâld fan granitenkomponinten, ynklusyf periodike ynspeksje foar mikrofraktueren en porositeitsdefekten, juste skjinmeitsjen om kontaminaasje te foarkommen, en soarchfâldige ôfhanneling tidens ferfier.Nettsjinsteande de mankeminten bliuwe granitenkomponinten in essensjeel diel fan 'e semiconductor-produksjeproses fanwege har superieure oerflakfinish, hege stivens en poerbêste trillingsdemping.
Post tiid: Dec-05-2023